如何校准检漏仪
检漏仪的校准应理解为在与校准漏孔（或检测漏孔）相连的检漏仪上调整显示。
校准漏孔是指准确地知道在特定温度和特定压力条件下的漏率的漏孔。此漏率在校准漏孔的校准合格证上提供，或记录在校准漏孔随附的标签上。
在真空操作中，必须区分两种类型的校准：
- 检漏仪的内部校准使用检漏仪内置的校准漏孔。使用此"内部校准漏孔"，只能校准检漏仪（其中内置校准漏孔）本身。
所有 Leybold 莱宝检漏仪均配备内部校准漏孔。通过自动运行的校准程序，每个检漏仪可以在几秒钟内完成"内部校准"。 - 检漏仪的外部校准使用安装在检漏仪进口的校准漏孔。使用此“外部校准漏孔”，只需几分钟即可校准检漏仪。
此外，外部校准漏孔还可用于检查内部校准漏孔的功能和运行是否正常。特别是，如果必须校准完整的检漏仪系统或分流配置，请务必使用外部校准漏孔。
吸枪装置和吸枪配置通常也必须通过外部校准漏孔进行校准。在这种情况下，一方面必须确保来自校准漏孔的全部检测气体都能到达吸枪头，另一方面必须确保通过吸枪装置的气流不受校准过程的阻碍（参见下图 9）。
图 9：吸枪校准漏孔的校准连接
使用吸枪法进行测量时，还需要考虑探头尖端到被测件表面的距离和扫描速度；这些必须作为校准的一部分。在测量氦气浓度的特殊情况下，可以使用空气中的氦含量（全球统一氦含量为 5 ppm）进行校准。
校准漏孔通常包括供气装置、具有规定流导值的阻流器和阀门。将根据所需的漏率进行配置。
图 10：校准漏孔组件构成示例
a - 无供气装置的校准漏孔
b - 适用于吸枪和真空应用的校准漏孔
c -（内部）毛细管式校准漏孔
d - 渗透式校准漏孔（也称为“扩散式校准漏孔”）
e - 制冷剂式校准漏孔
上图所示为不同的氦气校准漏孔。
渗透式漏孔常用于漏率介于 10–10 - 10–7 mbar·l/s 之间的情况。毛细管式漏孔常用于漏率介于 10–7 - 10–4 mbar·l/s 之间的情况，而对于介于 10 - 1000 之间的高漏率，则可使用具有明确规定的流导值的管段或孔板。
使用时要加注制冷剂的校准漏孔是一种特殊情况，因为制冷剂在室温下为液态，通常具有介于 4 bar 至 10 bar 之间的蒸汽压力。这里存在一个难以解决的技术问题：存在毛细管堵塞的风险。所有制冷剂也是很好的机油和润滑脂溶剂，因此经常会受到严重污染，鉴于此，很难保证用纯制冷剂填充校准漏孔。在这方面，决定性的影响因素不仅是化学成分，还包括多种溶解的颗粒物可能会导致细毛细管被频繁堵塞。
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