TURBOVAC i and MAG Group

涡轮分子真空泵

产品目录

机械式、混合式和磁悬浮式高真空泵

涡轮分子泵用于需要高洁净度的高真空或超高真空的应用，例如核聚变研究、镀膜工业等及分析仪器等应用。

从原理上来看，涡轮分子泵是一种在壳体中快速旋转的涡轮，涡轮的各级都配备了多个转子叶片。旋转的转子叶片之间装有固定的定子盘，其叶片按相反方向放置。

通过旋转的转子叶片将动量传递到气体分子，气体分子最初的非定向热运动变成定向运动，即从泵的进口延轴方向移动到排气口。

在分子流范围内（即低于 10^-3 mbar (0.75 x 10^-3 Torr) 的压力），气体分子的平均自由程远大于转子和定子叶片之间的间距（通常为十分之几毫米）。相应地，分子主要与密集的转子叶片发生碰撞，从而产生高效的抽气作用。在层流（恒流）范围内（即高于 10^-1 mbar (0.75 x 10^-1Torr) 的压力），分子之间的频繁碰撞会影响转子的抽气效率。

因此，涡轮分子泵不能在大气压力下工作。

TURBOVAC MAGiNTEGRA：磁悬浮涡轮分子泵

紧凑型分子泵，非常适合具有挑战性的应用，例如镀膜、分析仪器和科学研究。

MAGiNTEGRA 泵灵活、高效、维护简便，并具有高耐受性和出色的真空性能。

TURBOVAC i：混合涡轮分子泵

高度通用型分子泵，适用于科学研究、分析仪器、生命科学以及小型工业和镀膜领域的真空应用。

出色的抽气性能，采用一体式驱动器，易于设备集成。提供 8 种规格，配有多种型号和附件，适合您的大多数工艺需求。

我们还提供多种型号，例如：

TURBOVAC iX 能够在您的真空系统中充当控制器。
TURBOVAC iR 能够满足高电离辐射环境下应用的要求
TURBOVAC i Multi Inlet：适用于需要多点真空性能的应用

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