Leybold UNIVEX 镀膜系列包括:
UNIVEX 镀膜产品是高度精密的系统,由于采用模块化设计,可满足我们大多数客户的需求。
我们的 UNIVEX 系统配有 Leybold 莱宝制造的真空组件。这些泵系统被认为适合相应的处理室尺寸和应用。Leybold 莱宝有多种前级泵,可以是干式,也可以是油封式。可以连接各种高真空泵,例如,涡轮分子泵或低温泵。
主要用途是为客户的镀膜物理气相沉积 (PVD) 工艺提供可靠的真空环境。该系统的工艺设备可由蒸发源(热源、电子束源或有机源)、溅射源、多种基材处理方法(例如加热、冷却)等组成。
我们会根据您的特定需求定制这些系统中的任何一个。