COOLVAC 低温泵
气体截捕集泵
COOLVAC e 是一种制冷式低温泵，其工作原理是通过低温冷凝作用，使气态物质在泵内的冷表面上凝结，从而实现真空的产生。这种泵主要用于生成超高真空。
COOLVAC e 低温泵基于其抽吸原理，能够高效地抽吸各种气体。COOLVAC e 真空泵可在 10-3 mbar 至 10-11 mbar 的压力范围内产生不含烃的真空。
整个 COOLVAC e 低温泵系列均配备有安全相关的组件，特别是安全阀，该安全阀还配有额外的DN40 KF法兰，用于连接排气管路。
泵体由优质不锈钢制成。
COOLPAK e 系列氦气压缩机是运行 COOLPOWER e 冷头的必要设备，冷头集成在 COOLVAC e 系列低温泵中。
优势
智能
紧凑型 COOL.DRIVE e 控制器联合 COOLPAK e 压缩机的 MK5 控制器，实现对 COOLVAC eSL 的自动控制。
该控制器易于操作，配合高性能、低振动节能型 COOLPOWER e 冷头和相应 i 系列压缩机，实现快速、可靠和清洁的再生过程。
三种操作模式 - 增压、节能和标准，通过与 COOLPAK e 压缩机通信，实现快速冷却、节能运行或标准运行
安全、简单
这些低温泵集成了 EN 4126 标准安全阀。
COOLVAC e 真空泵的维护同样快速且简单：
- 无需从系统上拆下泵
- 拥有成本低。
高抽速
对于要求对所有气体均具有高抽速，尤其是水蒸汽的用户而言，COOLVAC e 低温泵是理想选择。
eBasicLine 和 eSmartLine 系列低温泵均可提供 1500 l/s 至 60000 l/s 的抽吸能力。
eSmartLine (eSL)
eSmartLine (eSL) 系列低温泵通过两级冷头处的电加热器逐渐加热至室温。压力、温度和加热功率由 COOL.DRIVE e 控制器监测。
在该流程中，按以下顺序依次释放抽出的气体：
- 低温面板中吸附的气体（例如氢气、氦气、氖气），
- 低温面板中冷凝的气体（例如氮气、氧气、氩气），
- 隔板和隔热罩上冷凝的气体和蒸气（例如水蒸汽）。
上述 Leybold 再生流程的好处是，在惰性、无反应气体的再生过程中不需要额外的净化气体。
净化气体再生可作为附加选件/附件提供。
客户得益：
- 与 COOLPAK 5000e 组合使用时，支持 3 种运行模式：增强冷却性能、节能模式和定制运行
- 不含烃的无油高真空
- 氩气和氢气处理能力高
- 通过 COOL.DRIVE e 集成控制器实现全自动再生
- 无需拆卸泵和重新调节真空系统即可轻松进行现场维修
- 快速抽吸水和氮气
- 利用电动再生系统实现快速、安全和高效的再生
eBasicLine (eBL)
如果是 eBasicLine (eBL) 系列的低温泵，则可通过两个子步骤手动进行再生：
- 关闭冷冻机系统并等待达到室温
- 在低温泵中达到足够低的压力后重新冷却
eBasicLine 泵与 eSL 型 COOLVAC e 低温泵在以下方面具有相同的技术数据：
- 抽速、
- 容量、
- 冷却时间、
- 内置冷头、
- 吞吐量上限、
- 第二级（硅二极管）和相应电流馈通器件的内置温度传感器。
但是，这些型号不包括 COOL.DRIVE e 控制器以及加热器、真空计和前级真空阀。
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