您有没有想过柔性电子面板和太阳能电池板是怎么制造出来的?是通过一种常见的高科技镀膜工艺,它被称为“卷绕镀膜”(R2R),是大量材料和产品的首选生产方法。
卷绕 (R2R) 镀膜机可以为通常由聚合物或各种金属制成的所有柔性材料镀膜。为这些材料镀膜是改变其特性或保护其免受磨损和/或环境条件的影响。其应用非常广泛,以下是一些真空镀膜的卷绕材料示例:
显示技术和光伏
蓄能器、蓄电池和超级电容器的部件
具有柔性元件的可穿戴和可弯曲的电子产品,比如有机显示器、传感器和外壳
用于食品和制药行业的各种包装解决方案的轧制聚合物材料
柔性太阳能电池板
甚至纺织品也需要进行卷绕镀膜,以用于特殊用途
有三种卷绕镀膜工艺需要真空:物理气相沉积 (PVD)、等离子体增强化学气相淀积 (PECVD) 和热蒸发,所有这些工艺都需要压力范围在 10-1 至 10-3 mbar 的真空条件。
这些镀膜应用的要求非常严苛,对真空泵提出了具体的挑战,包括:
在 Leybold 莱宝,我们在为卷绕镀膜应用提供真空解决方案方面有着悠久的历史,并且积累了该领域的各种专业知识,能够提供符合这些类型应用所需的所有真空泵技术。