IONIVAC ITR 90

IONIVAC

热阴极 Bayard Alpert 真空计

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为什么选择 IONIVAC？

我们的 IONIVAC 真空计系列，无论是无源 (IE) 还是有源 (ITR)，都能测量超高真空。这可以对实验进行详细跟踪，并控制工艺中的可变因素。

IONIVAC 热阴极真空计的工作原理是让热阴极发射电子撞向阳极，测量的气体在这个过程中被电离。通过第三电极检测产生的正离子电流，该电流反映了与压力成比例的信号。

根据所用的热阴极技术，热阴极电离传感器可提供 10^-12至 10^-1 mbar（0.75·10^-10 至 0.75·10^-1 Torr）的广泛测量范围。

IONIVAC ITR 90/200 系列
IONIVAC IE 414/IE 514 系列

IONIVAC ITR 90/200 系列

IONIVAC ITR 90/200 系列

经过优化的组合变送器

IONIVAC ITR 是一款经过优化的组合变送器。通过将热阴极电离传感器（采用热阴极电离的 Bayard Alpert 原理）与皮拉尼传感器相结合，可实现 5 . 10^-10至 1000 mbar（3.75 . 10^-10至 750 torr）的真空压力测量。

有两种主要型号可供选择：

带单个热阴极灯丝的 ITR 90
带双灯丝的 ITR 200，通过内置冗余配置延长使用寿命。如果出现故障，它将自动切换灯丝，并指示灯丝出现故障。为了进一步延长真空计的使用寿命，可以运行脱气程序，从而重新增强灯丝的性能。

从 1 . 10^-10 mbar/torr 到大气压的连续压力测量
紧凑型设计，带有可更换的阴极和脱气模式
可烘烤的传感器，用于 UHV 测量
提供模拟、显示、数字和 Profibus 接口，便于安装
在 10^-2 至 10^-9 mbar 的典型工艺压力范围内具有高重复性
通过无源测量进行的 UHV 压力测量，可实现低至 10^-12mbar/torr 的测量

IONIVAC IE 414/IE 514 系列

IONIVAC IE 414/IE 514 系列

UHV 测量中的主要产品

Leybold 莱宝的 IONIVAC IE 系列真空计是 UHV 真空测量中的主要产品，具有较低测量本底和较高的精度。

与 Leybold 莱宝的无源真空计控制器配合使用，可用于测量非常低压力读数的环境。

无源 IONIVAC IE 传感器使用热阴极电离技术来测量真空度。

IE 414 采用 Bayard Alpert 技术，可在 2 . 10-11 至 e-2 mbar（1.5e-11 至 e-2 torr）的范围内进行测量。
要测量非常低的压力，您需要降低 X 射线的影响。这是在我们的 IE 514 系列真空计上使用热阴极电离提取方法来完成的。借助这种传感器技术，您可以读取 2e-12 至 1e-4 mbar（2e-12 至 7.5e-5torr）的真空度。

IONIVAC ITR 90/200 系列

经过优化的组合变送器

IONIVAC ITR 是一款经过优化的组合变送器。通过将热阴极电离传感器（采用热阴极电离的 Bayard Alpert 原理）与皮拉尼传感器相结合，可实现 5 . 10^-10至 1000 mbar（3.75 . 10^-10至 750 torr）的真空压力测量。

有两种主要型号可供选择：

带单个热阴极灯丝的 ITR 90
带双灯丝的 ITR 200，通过内置冗余配置延长使用寿命。如果出现故障，它将自动切换灯丝，并指示灯丝出现故障。为了进一步延长真空计的使用寿命，可以运行脱气程序，从而重新增强灯丝的性能。

从 1 . 10^-10 mbar/torr 到大气压的连续压力测量
紧凑型设计，带有可更换的阴极和脱气模式
可烘烤的传感器，用于 UHV 测量
提供模拟、显示、数字和 Profibus 接口，便于安装
在 10^-2 至 10^-9 mbar 的典型工艺压力范围内具有高重复性
通过无源测量进行的 UHV 压力测量，可实现低至 10^-12mbar/torr 的测量

IONIVAC IE 414/IE 514 系列

UHV 测量中的主要产品

Leybold 莱宝的 IONIVAC IE 系列真空计是 UHV 真空测量中的主要产品，具有较低测量本底和较高的精度。

与 Leybold 莱宝的无源真空计控制器配合使用，可用于测量非常低压力读数的环境。

无源 IONIVAC IE 传感器使用热阴极电离技术来测量真空度。

IE 414 采用 Bayard Alpert 技术，可在 2 . 10-11 至 e-2 mbar（1.5e-11 至 e-2 torr）的范围内进行测量。
要测量非常低的压力，您需要降低 X 射线的影响。这是在我们的 IE 514 系列真空计上使用热阴极电离提取方法来完成的。借助这种传感器技术，您可以读取 2e-12 至 1e-4 mbar（2e-12 至 7.5e-5torr）的真空度。

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