用于等离子体处理技术的真空泵和解决方案
什么是真空等离子体处理？
等离子体处理是一种通用技术，广泛应用于众多行业，包括电子、半导体制造、汽车、医疗等。常用的工艺气体是氧气、氩气或 CF4。这些气体在真空下通过电场被电离后形成等离子体，主要用于表面的涂层处理、清洁、活化或蚀刻，以改变表面清洁度、粘附力或功能性。
真空在等离子体处理系统中发挥着关键作用，可以有效地创造和维持等离子体条件。
- 高效的过程反应：在真空条件下，等离子体中产生的反应离子可以更有效地扩散到表面，以进行表面改性、清洁、活化或蚀刻工艺。
- 均匀一致的表面处理：真空可确保环境无污染，以保证等离子体均匀地产生，从而精确控制表面改性。
等离子体处理如何挑战您的真空系统
真空泵或泵送系统的主要挑战是在工艺中排空活化离子（例如氧离子或氟离子），同时其可能进入泵。这些离子都具有高度反应性，而且对环境和人类健康有害。
氧离子和氟离子可能会对泵体材料产生重大影响。油和密封件可能被氧化、分解或降解。因此，正确选择油和密封材料对于成功地使用泵至关重要。
哪种类型的泵适用于真空等离子体处理？
可以使用不同类型的真空泵。只有选择正确的真空泵和系统，才能确保处理等离子体处理技术的不同排气，保证无故障运行，同时实现尽可能长的正常运行时间，从而优化您的拥有成本。
Leybold 莱宝拥有丰富的经验，我们的产品在不同的等离子体处理工艺中都得到了充分的验证。对于每种等离子体处理工艺，Leybold 莱宝都可以提供满足客户需求的卓越真空解决方案。
在下面查找我们的等离子体处理产品，或联系我们讨论您的项目。
- TRIVAC B
- RUVAC
- VARODRY
- DURADRY
- DRYVAC
TRIVAC B
TRIVAC B
油封双级叶片泵具有出色的真空性能，可提供低极限压力。BCS-PFPE 版本在高反应性等离子体应用中表现出色。
RUVAC
RUVAC
三个不同系列 WA(U)、WS(U) 和 WH(U)，抽速范围广，为 251 至 9800 m³/h。可选的变频器操作可实现精确的过程控制。WS(U)-PFPE 和 WH-PFPE 版本可用于高反应性等离子体应用
VARODRY
VARODRY
无油风冷干式螺杆泵，抽吸速度为 65 至 200 m³/h，这有助于优化您的拥有成本。VARODRY HD O2 版本非常适合 O2 等离子体处理。
DURADRY
DURADRY
水冷干式螺杆泵，抽速为 160 或 250 m³/h。噪声低，紧凑的设计和气密性。稳定的热量管理实现了出色的氩气和轻质气体处理。支持几乎所有等离子体处理工艺的高耐用性。
DRYVAC
DRYVAC
紧凑、气密且久经考验的设计，结合非常高的坚固耐用性和节能性。针对等离子体处理工艺提供了可靠的性能和更长的正常运行时间，抽吸速度为 200 至 800 m³/h。
TRIVAC B
油封双级叶片泵具有出色的真空性能，可提供低极限压力。BCS-PFPE 版本在高反应性等离子体应用中表现出色。
RUVAC
三个不同系列 WA(U)、WS(U) 和 WH(U)，抽速范围广，为 251 至 9800 m³/h。可选的变频器操作可实现精确的过程控制。WS(U)-PFPE 和 WH-PFPE 版本可用于高反应性等离子体应用
VARODRY
无油风冷干式螺杆泵，抽吸速度为 65 至 200 m³/h，这有助于优化您的拥有成本。VARODRY HD O2 版本非常适合 O2 等离子体处理。
DURADRY
水冷干式螺杆泵，抽速为 160 或 250 m³/h。噪声低，紧凑的设计和气密性。稳定的热量管理实现了出色的氩气和轻质气体处理。支持几乎所有等离子体处理工艺的高耐用性。
DRYVAC
紧凑、气密且久经考验的设计，结合非常高的坚固耐用性和节能性。针对等离子体处理工艺提供了可靠的性能和更长的正常运行时间，抽吸速度为 200 至 800 m³/h。
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