RUVAC WA / WAU
罗茨泵
为您的应用提供久经考验的技术
Leybold 莱宝RUVAC WA/WAU 罗茨泵配有法兰安装式风冷标准三相电机以实现灵活应用，并且采用集成式旁通管路和旁通阀，非常适合各类真空应用。
RUVAC WA / WAU 罗茨泵配有由 FPM (FKM)（氟橡胶）制成的径向轴密封圈，以延长保养间隔。RUVAC WAU 罗茨泵具有额外的集成式旁通管路和压差旁通阀。这些泵标配垂直流，但也可以根据需要改为水平流。
环保的风冷式 RUVAC WA / WAU 干式罗茨泵可节省冷却水费用以及水回路维护成本。RUVAC WA / WAU 在热处理、食品包装和冷冻干燥等多种应用中均已证明其运行可靠，性能出众。
客户得益
- 随附设备
- 可靠且无故障的真空
- 缩短周期时间
- 在低压力下具有高抽速
- 实现大容量抽速
随附设备
随附设备
- 使用矿物油 LVO 100 作为标准润滑油
- 进气法兰带有垫片和滤尘网
- 使用单独的瓶子补加所需的润滑油
可靠且无故障的真空
可靠且无故障的真空
RUVAC WA/WAU 罗茨泵是low-e镀膜行业中的标配设备。当与现有的油封 SOGEVAC 泵或 DRYVAC 泵结合使用时，它们可在进出样室中提供较短的抽气时间。当与干式压缩 DRYVAC 和 SCREWLINE 泵结合使用时，它们可确保在工艺室中实现干燥、可靠和无故障的真空。
缩短周期时间
缩短周期时间
RUVAC WA/WAU 罗茨泵应用广泛，可在特别需要快速抽空的应用中实现尽可能短的周期时间，例如在进出样室或高速食品包装中。
在低压力下具有高抽速
在低压力下具有高抽速
对于镀膜应用，RUVAC WA/WAU 罗茨泵可在工艺开始前，快速达到低于 10-3 mbar 的压力。
实现大容量抽速
实现大容量抽速
RUVAC WA/WAU 泵可提供大型生产流程中所需的容量，例如用于长晶——制造半导体和太阳能电池的基本材料——单晶硅。我们很乐意为您提供我们广泛的产品以及应用支持和专业技术。
随附设备
- 使用矿物油 LVO 100 作为标准润滑油
- 进气法兰带有垫片和滤尘网
- 使用单独的瓶子补加所需的润滑油
可靠且无故障的真空
RUVAC WA/WAU 罗茨泵是low-e镀膜行业中的标配设备。当与现有的油封 SOGEVAC 泵或 DRYVAC 泵结合使用时，它们可在进出样室中提供较短的抽气时间。当与干式压缩 DRYVAC 和 SCREWLINE 泵结合使用时，它们可确保在工艺室中实现干燥、可靠和无故障的真空。
缩短周期时间
RUVAC WA/WAU 罗茨泵应用广泛，可在特别需要快速抽空的应用中实现尽可能短的周期时间，例如在进出样室或高速食品包装中。
在低压力下具有高抽速
对于镀膜应用，RUVAC WA/WAU 罗茨泵可在工艺开始前，快速达到低于 10-3 mbar 的压力。
实现大容量抽速
RUVAC WA/WAU 泵可提供大型生产流程中所需的容量，例如用于长晶——制造半导体和太阳能电池的基本材料——单晶硅。我们很乐意为您提供我们广泛的产品以及应用支持和专业技术。
- 技术信息
- 行业应用
- 产品目录
技术信息
| RUVAC WA/WAU 251 |
RUVAC WA/WAU 501 |
RUVAC WA/WAU 1001 |
RUVAC WA/WAU 2001 |
||
| 额定抽速 (50 Hz) | m3 · h-1 | 253 | 505 | 1000 | 2050 |
| 旋转速度 (50/60 Hz) | min-1 | 3000/3600 | 3000/3600 | 3000/3600 | 3000/3600 |
| 电动机功率 | kW | ≤ 1.1 | ≤ 2.2 | ≤ 4.0 | 7.5 |
| 最大容许压差 | mbar | 80 | 80 | 80 | 50 |
| 连接法兰 | DN 63 PN6 | DN 63 PN6 | DN 100 PN6 | DN 160 PN6 |
在 Leybold 莱宝的产品目录中查找更多技术数据。
行业应用
- 与前级泵配合使用，可对气体和蒸气进行无油压缩
- 适用于短节拍工艺
- 能够处理大量气体和蒸气
- 进出样室应用
产品目录
| RUVAC WA/WAU 251 |
RUVAC WA/WAU 501 |
RUVAC WA/WAU 1001 |
RUVAC WA/WAU 2001 |
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| 额定抽速 (50 Hz) | m3 · h-1 | 253 | 505 | 1000 | 2050 |
| 旋转速度 (50/60 Hz) | min-1 | 3000/3600 | 3000/3600 | 3000/3600 | 3000/3600 |
| 电动机功率 | kW | ≤ 1.1 | ≤ 2.2 | ≤ 4.0 | 7.5 |
| 最大容许压差 | mbar | 80 | 80 | 80 | 50 |
| 连接法兰 | DN 63 PN6 | DN 63 PN6 | DN 100 PN6 | DN 160 PN6 |
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- 与前级泵配合使用，可对气体和蒸气进行无油压缩
- 适用于短节拍工艺
- 能够处理大量气体和蒸气
- 进出样室应用
