罗茨泵和油封旋片泵的组合

SOGEVAC 真空泵组基于 SOGEVAC 旋片泵,并与 RUVAC WA、WS 或 WH 系列的罗茨泵相结合,适合几乎所有中真空工艺。越来越多的工业和研究应用都依赖于真空技术,对真空生成系统的要求差异很大。

SOGEVAC 机组的典型应用领域包括工业、研究和化学。其中重点是金属生产和加工、干燥和脱气、热处理、太阳能部件和半导体制造领域中的镀膜以及表面细化等工艺。SOGEVAC 机组还可用作高真空系统的前级泵组,与扩散泵、涡轮分子泵和低温泵结合使用。

在常见的真空炉工艺中,例如硬化、退火、硬钎焊、熔化和铸造,通常优选使用油封或干式压缩标准真空泵系统。油封系统由罗茨真空泵与单级或双级旋片组合而成。

适配器版本

标准设备

它配有带回油管的排气过滤器、油过滤器和集油盘。
SOGEVAC 真空机组通过了 CE 认证,泵油随泵一起提供。

  • 风冷和水冷式 SOGEVAC
  • 风冷式 RUVAC WA(U)/WS(U)
  • 气镇阀:由全风冷式 SOGEVAC/24 V DC SV 630BF 手动操作
  • 地面安装

 

可选件

  • 用于控制罗茨泵转度的变频器 WA/WS/WH
  • 24 V DC 气镇阀或手动操作
  • 隔音箱
  • 减振器
  • 脚轮
  • 放油阀
  • 专用电机
  • 电子控制系统,例如启/停功能
SOGEVAC System SV 630 with RUVAC WH

机架版

标准设备

采用标准部件组合的全模块化系统设计。
SOGEVAC 真空机组通过了 CE 认证,泵油随泵一起提供。

  • 风冷式 RUVAC WA(U)/WS(U)
  • 风冷和水冷式 SOGEVAC
  • 带回油管的排气过滤器
  • 油过滤器
  • 集油盘
  • 气镇阀:由全风冷式 SOGEVAC/24 V DC SV630BF 手动操作
  • 机架上的吊环
  • 地面安装
  • 泵油随泵一起提供
  • CE 认证

 

可选件

  • 用于控制罗茨泵转度的变频器 WA/WS/WH
  • 24 V DC 气镇阀或手动操作
  • 隔音箱
  • 减振器
  • 脚轮
  • 放油阀
  • 专用电机
  • 电子控制系统,例如启/停功能
SOGEVAC System SVS05AU20-G
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