超高真空泵

钛离子泵、NEG 泵和 TSP 泵

Leybold 莱宝将 Gamma 产品纳入产品组合,为超高真空 (UHV) 应用提供了解决方案。 

这使 Leybold 莱宝不仅能测量超高真空压力,还能提供实现超高在真空的能力例如离子泵可以提供卓越的氢气抽速以及不含烃且无振动的真空。

作为全系列真空产品供应商, Leybold 莱宝在全球范围内为 Gamma 产品提供支持和服务。

Gamma Vacuum 专门从事离子泵和钛升华泵以及 NEG 泵及其组合的设计、制造和分销,服务于各种科学应用领域(包括研发和高能物理)的客户。

为任何超高真空应用提供解决方案;包括离子泵、非蒸发型吸气 (NEG) 泵、钛升华泵 (TSP) 及其各自的控制器。
所有设备,包括必要的高电压或高电流电缆,均在位于美国 Gamma Vacuum 制造。

Gamma Vacuum 还提供组合泵,例如集成有 NEG 泵的离子泵。完整的产品系列,既包括智能控制器,可以操作轻松装入口袋中的离子泵,也包括操作多头离子泵的功能强大的控制器。

除了现有的产品外,Gamma Vacuum 还可以对其产品进行深度定制。 

HyTan NEG-离子组合泵

Combining NEG and ion pump technology into a compact UHV pump with exchangeable modules, ideal for applications where space is restricted and versatility is a must.

  • Versatile – a choice of 6 NEG, and 6 ion pump modules, delivering hydrogen pumping speeds from 100 – 500 l/s.
  • Customizable – replaceable noble and conventional diode elements, 2 ion pump feedthrough options, and exchangeable modules this UHV pump supports a diverse range of applications.
  • Compact – significantly smaller than legacy products, the HyTan NEG-Ion Pump can even be installed inside your chamber for maximum space efficiency.
  • Efficient - low power consumption and replaceable parts help reduce your UHV pumps footprint and overall cost of ownership. 

HyTan NEG-Ion Pumps

钛离子泵、NEG 泵和 TSP 泵

Pump systems for ultra-high vacuum

A full range of vibration-free and maintenance-free TiTan ion pumps, titanium sublimation pumps (TSP) and non-evaporable getter (NEG) pumps to achieve best ultimate pressures in the ultra-high vacuum.

  • High pumping speed at ultra high vacuum
  • Hydrocarbon-free vacuum
  • Long operating time
  • Complete solutions
  • Pumping speed 0.2 - 1,200 l/s
  • Ultimate pressure < 1 x 10-11 mbar
NEG Pumps

NEG Pumps

提供各种符合不同要求的钛离子泵元件:

  • 含钛阴极的 TiTan CV,用于抽取空气和活性气体。
  • TiTan DI 用于抽取空气和活性气体,以及稳定抽吸惰性气体(钛和钽阴极)
  • TiTan TR - 经典三极管技术,可在高压范围内实现更高的抽速,对惰性气体抽速稳定。
  • 多种 NEG 泵和 TSP 泵,可供单独使用或集成到 TiTan 离子泵中。
  • TiTan、NEG 和 TSP 组件可达到 450 °C 的烘烤除气温度。
  • 提供多种附件。
  • 用于操作离子泵的 DIGITEL 控制器型号。
  • 面向不同应用、具有不同配置的 TSP 泵和 NEG 泵。
  • 高真空电缆用于连接控制器和离子泵。
TSP 热丝滤筒

TSP 热丝滤筒

DIGITEL 离子泵控制器

使用一系列控制器管理单离子或多离子 NEG 或 TSP 真空泵。

这些控制器旨在保持稳定的电压水平,并采用一系列集成协议和易于使用的界面,确保您的真空泵性能出色且高效运行。

  • DIGITEL SPCe 小型泵控制器用于管理抽速高达 75 l/s 的单离子泵。
  • DIGITEL QPC 四泵控制器用于管理抽速高达 100 I/s、数量多达 4 个的离子泵。
  • DIGITEL MPCq 多泵控制器用于控制具有高电流需求的多达 4 个大型离子泵。
  • TSP 控制器用于管理多达 2 个 TSP 泵(或 6 根 TSP 热丝)。
DIGITEL QPC 四泵控制器

DIGITEL QPC 四泵控制器

DIGITEL MPCq 多泵控制器

DIGITEL MPCq 多泵控制器

UHV(超高真空)附件

这些附件系列非常适合您的 UHV(超高真空)泵。它们运行可靠且符合高规格,旨在确保您充分利用真空系统。

  • 高压电缆 – 采用定制设计,适合多种真空应用,100% 自主制造。
  • TSP 电缆 – 坚固耐用且可靠,我们的钛升华泵电缆专为持久使用而设计。
  • 配电盒 – 将电源分配给离子泵/NEG 泵,以便并行操作。
  • TSP 护罩 – 可更换的护罩,具有大尺寸活性表面,可提高抽速。
TSP 电缆

TSP 电缆