RUVAC WA / WAU

罗茨泵

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为您的应用提供久经考验的技术

Leybold RUVAC WA/WAU 罗茨泵配有法兰安装式风冷标准三相电机以实现灵活应用，并且采用集成式旁通管路和旁通阀，非常适合各类真空应用。

RUVAC WA / WAU 罗茨泵配有由 FPM (FKM)（氟橡胶）制成的径向轴密封圈，以延长保养间隔。RUVAC WAU 罗茨泵具有额外的集成式旁通管路和压差旁通阀。这些泵标配垂直流，但也可以根据需要改为水平流。

环保的风冷式 RUVAC WA / WAU 干式罗茨泵可节省冷却水费用以及水回路维护成本。RUVAC WA / WAU 在热处理、食品包装和冷冻干燥等多种应用中均已证明其运行可靠，性能出众。

两款风冷式系列 WA/WAU，分别包含四种泵规格

采用标准电机，灵活性高，可应对特殊电压并符合ATEX规定

提供 ATEX Cat.3i/o 级型号，所有 WA(U) 泵均符合 ATEX Cat. 3i 标准

易于维护和更换轴密封圈

集成式旁通管路，可在防止WAU 型号高压过载

可在现场从垂直流转换成水平流

随附设备

可靠且无故障的真空

RUVAC WA/WAU 罗茨泵是low-e镀膜行业中的标配设备。当与现有的油封 SOGEVAC 泵或 DRYVAC 泵结合使用时，它们可在进出样室中提供较短的抽气时间。当与干式压缩 DRYVAC 和 SCREWLINE 泵结合使用时，它们可确保在工艺室中实现干燥、可靠和无故障的真空。

缩短周期时间

RUVAC WA/WAU 罗茨泵应用广泛，可在特别需要快速抽空的应用中实现尽可能短的周期时间，例如在进出样室或高速食品包装中。

在低压力下具有高抽速

对于镀膜应用，RUVAC WA/WAU 罗茨泵可在工艺开始前，快速达到低于 10^-3 mbar 的压力。

实现大容量抽速

RUVAC WA/WAU 泵可提供生产流程所需的稿酬苏，例如用于长晶——制造半导体和太阳能电池的基本材料——单晶硅。我们很乐意为您提供我们广泛的产品以及应用支持和专业技术。

RUVAC WA/WAU 罗茨泵应用广泛，可在特别需要快速抽空的应用中实现尽可能短的周期时间，例如在进出样室或高速食品包装中。

对于镀膜应用，RUVAC WA/WAU 罗茨泵可在工艺开始前，快速达到低于 10^-3 mbar 的压力。

技术信息

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