Leybold RUVAC WS 罗茨泵由风冷式或水冷式罐装电机驱动。泵可选配变频器,因此排除了其机械过载的可能性。如果压差过高,泵的转速会自动降低,直到达到其合适负载为止。RUVAC WSU 系列罗茨真空泵配有额外的集成旁通管路和旁通阀。泵可选择垂直流/水平流,从而调节进排气口方向。出厂标准为垂直流。
两款风冷式系列 WS/WSU,分别包含四种泵规格
由风冷式罐装电机驱动的全密封式罗茨泵
经由矿物油(或者用 LVO 400)润滑
电机定子线圈中的过温开关
所有弹性体密封件均由 FPM (FKM)/氟橡胶制成
带旁通阀的集成式旁通管路可防止 WSU 型号过载(可选)
变频器可用于在 20 至 100 Hz 之间操作 RUVAC WS 251 - 2001 泵
没有直连外界大气的轴,因此密封效果非常好
客户可在现场将垂直流更改为水平流,简单方便。
WAU/WSU/WHU 系列罗茨真空泵配有额外的集成式旁通管路和旁通阀。
RUVAC 罗茨泵是low-e镀膜行业中的标配设备。当与现有的油封 SOGEVAC 泵结合使用时,它们可在进出样室中实现较短的抽气时间。当与干式压缩 DRYVAC 和 SCREWLINE 泵结合使用时,它们可确保在工艺室中实现干燥、可靠和无故障的真空。
RUVAC 罗茨泵应用广泛,可在特别需要快速抽空的应用中实现尽可能短的周期时间,例如在进出样室或高速食品包装中。
RUVAC 罗茨泵在镀膜工艺流程前可快速达到低于 10-3 mbar 的压力,抽空灯具和绝缘表面,满足工艺要求。
RUVAC 罗茨泵还在长晶设备中用于制造单晶硅,单晶硅是制造半导体和太阳能电池的基本材料。我们很乐意为您提供我们广泛的产品以及应用支持和专业技术。
RUVAC 罗茨泵是low-e镀膜行业中的标配设备。当与现有的油封 SOGEVAC 泵结合使用时,它们可在进出样室中实现较短的抽气时间。当与干式压缩 DRYVAC 和 SCREWLINE 泵结合使用时,它们可确保在工艺室中实现干燥、可靠和无故障的真空。
RUVAC 罗茨泵应用广泛,可在特别需要快速抽空的应用中实现尽可能短的周期时间,例如在进出样室或高速食品包装中。
RUVAC 罗茨泵在镀膜工艺流程前可快速达到低于 10-3 mbar 的压力,抽空灯具和绝缘表面,满足工艺要求。
RUVAC 罗茨泵还在长晶设备中用于制造单晶硅,单晶硅是制造半导体和太阳能电池的基本材料。我们很乐意为您提供我们广泛的产品以及应用支持和专业技术。