RUVAC WS/WSU
配有风冷式罐装电机的罗茨泵
Leybold RUVAC WS 罗茨泵由风冷式或水冷式罐装电机驱动。泵可选配变频器，因此排除了其机械过载的可能性。如果压差过高，泵的转速会自动降低，直到达到其合适负载为止。RUVAC WSU 系列罗茨真空泵配有额外的集成旁通管路和旁通阀。泵可选择垂直流/水平流，从而调节进排气口方向。出厂标准为垂直流。
随附设备
- 所需用量的油与泵分开供货（例外情况单独注明）
- 如果未注明其他类型的油，则使用矿物油 LVO 100 作为标准用油
- 用氮气净化以防止腐蚀
- 进气法兰带有垫片和集成式滤尘网
WAU/WSU/WHU 系列罗茨真空泵配有额外的集成式旁通管路和旁通阀。
- 行业应用
- 产品目录
行业应用
- 适用于在 10-2 至 10-4 mbar（0.75 x 10-2 至 0.75 x 10-4 Torr）压力范围内需要高抽速的应用
- 在必须避免因空气进入或抽取的介质泄漏而可能造成污染的情况下使用
- 吸入或抽取高纯度气体
- 在不得由电机风扇循环通风的洁净室中使用
RUVAC 罗茨泵是low-e镀膜行业中的标配设备。当与现有的油封 SOGEVAC 泵结合使用时，它们可在进出样室中实现较短的抽气时间。当与干式压缩 DRYVAC 和 SCREWLINE 泵结合使用时，它们可确保在工艺室中实现干燥、可靠和无故障的真空。
RUVAC 罗茨泵应用广泛，可在特别需要快速抽空的应用中实现尽可能短的周期时间，例如在进出样室或高速食品包装中。
RUVAC 罗茨泵在镀膜工艺流程前可快速达到低于 10-3 mbar 的压力，抽空灯具和绝缘表面，满足工艺要求。
RUVAC 罗茨泵还在长晶设备中用于制造单晶硅，单晶硅是制造半导体和太阳能电池的基本材料。我们很乐意为您提供我们广泛的产品以及应用支持和专业技术。
产品目录
- 适用于在 10-2 至 10-4 mbar（0.75 x 10-2 至 0.75 x 10-4 Torr）压力范围内需要高抽速的应用
- 在必须避免因空气进入或抽取的介质泄漏而可能造成污染的情况下使用
- 吸入或抽取高纯度气体
- 在不得由电机风扇循环通风的洁净室中使用
RUVAC 罗茨泵是low-e镀膜行业中的标配设备。当与现有的油封 SOGEVAC 泵结合使用时，它们可在进出样室中实现较短的抽气时间。当与干式压缩 DRYVAC 和 SCREWLINE 泵结合使用时，它们可确保在工艺室中实现干燥、可靠和无故障的真空。
RUVAC 罗茨泵应用广泛，可在特别需要快速抽空的应用中实现尽可能短的周期时间，例如在进出样室或高速食品包装中。
RUVAC 罗茨泵在镀膜工艺流程前可快速达到低于 10-3 mbar 的压力，抽空灯具和绝缘表面，满足工艺要求。
RUVAC 罗茨泵还在长晶设备中用于制造单晶硅，单晶硅是制造半导体和太阳能电池的基本材料。我们很乐意为您提供我们广泛的产品以及应用支持和专业技术。
