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SOGEVAC 真空泵组基于 SOGEVAC 旋片泵,并与 RUVAC WA、WS 或 WH 系列的罗茨泵相结合,适合几乎所有中真空工艺。越来越多的工业和研究应用都依赖于真空技术,对真空生成系统的要求差异很大。
SOGEVAC 机组的典型应用领域包括工业、研究和化学。其中重点是金属生产和加工、干燥和脱气、热处理、太阳能部件和半导体制造领域中的镀膜以及表面细化等工艺。SOGEVAC 机组还可用作高真空系统的前级泵组,与扩散泵、涡轮分子泵和低温泵结合使用。
在常见的真空炉工艺中,例如硬化、退火、硬钎焊、熔化和铸造,通常优选使用油封或干式压缩标准真空泵系统。油封系统由罗茨真空泵与单级或双级旋片组合而成。
标准设备
它配有带回油管的排气过滤器、油过滤器和集油盘。
SOGEVAC 真空机组通过了 CE 认证,泵油随泵一起提供。
可选件
标准设备
采用标准部件组合的全模块化系统设计。
SOGEVAC 真空机组通过了 CE 认证,泵油随泵一起提供。
可选件