用于太阳能应用的真空技术
Leybold 莱宝的真空解决方案经过生产验证,可提高太阳能电池和太阳能电池板的品质、质量和安全性。
我们对能源的需求日益增长,而且还必须限制化石燃料的使用以缓解全球变暖的问题,太阳能变得越来越重要。在全球范围内,人们越来越关注可再生能源,例如风能和太阳能。由于需求不断增长,对太阳能电池技术的研究如火如荼,除了延长太阳能电池和太阳能电池板的寿命外,还显著降低了成本,提升转化率。
太阳能电池板是我们踏上绿色发电之路的重要一步。例如,它们也可以成为电解槽的电源,为未来由燃料电池驱动的车队制取环保的氢气。
Leybold 莱宝为太阳能生产过程中的每个真空步骤都提供了理想的产品,无论是基于晶片、薄膜的发电装置,还是将两者相结合的发电装置,这正如我们在新兴的异质结技术中所看到的。
我们的真空专业知识,为您带来优势
我们为整个太阳能生产过程提供了理想的真空解决方案。可根据特定工艺和个别工艺要求提供各种类型的泵和智能泵解决方案,也可以根据客户的规格进行定制。
干式真空泵
在太阳能生产中,纯度和无油解决方案至关重要。干式真空泵可实现零油排放,避免油进入工艺反应室的潜在风险,从而确保生产系统的高工艺质量。它们可增加正常生产时间,尽可能地降低成本、减少维护工作,并延长使用寿命。使用 Leybold 莱宝的干式泵系列可确保生产出高品质的太阳能电池。
- PowerBoost
- SCREWLINE
- DRYVAC
- RUVAC
- CLAWVAC
- VARODRY
- SOGEVAC
- TRIVAC
- 氦检漏仪
PowerBoost
PowerBoost
PowerBoost 和 PowerBoost Plus 专为短节拍抽空应用而开发和优化,真空度可达 0.01 mbar。此系统适用于所有短节拍抽空应用。自动检测循环时间还使其具有非常高的灵活性,可以主动适应工艺条件改变。
- 将干式和无油螺杆/罗茨技术相结合 -> 能够处理灰尘,并针对快速抽空进行了优化
- 占地面积小 -> 比过去的泵配置“减少一套装置”
- 噪音非常低 -> 这得益于了解镀膜机下一步操作的智能泵系统
- 节能 -> 创新的节能装置可降低功耗。
SCREWLINE
SCREWLINE
SCREWLINE SP 630 的干式螺杆泵具有内部转子冷却功能,非常适合要求苛刻的太阳能层压应用,因为它可以抽取 EVA(乙烯-醋酸乙烯脂)、POE(聚辛烯乙烯)和 PVB(聚乙烯醇缩丁醛)聚合物材料产生的单体、低聚物和软化剂脱气。
- SP 630 干式螺杆技术 -> 自 2004 年以来经过生产验证的太阳能层压技术
- 适用于各种层压工艺的优质真空泵
- 风冷式 -> 安装快速而简便
- 可在现场维护-> 真空泵不会导致停机
DRYVAC
DRYVAC
我们的 DRYVAC 是一款紧凑、运行安静的水冷型干式螺杆泵,可安装在重型工业环境中。该泵设计用于处理 PECVD 和 PVD 镀薄膜工艺(如 CIGS、CdTe 和异质结)中使用的气体。
- 干式无油螺杆技术 -> 能够处理灰尘、掺杂气体和氟蚀刻
- 尺寸紧凑 -> 便于在生产线上安装
- 噪音非常低 -> 使工作环境得到改善
- 散热量小 -> 可进行集中处理以提高机器性能
- 节能 -> 创新的节能装置可降低功耗。
RUVAC
RUVAC
抽取大量气体或达到并维持低真空压力需要强大的增压泵。我们的 RUVAC WA(U) 和 WS(U) 经典增压泵,以及我们创新的静密封 RUVAC WH(U),既可以使用直接驱动,也可以由变频器驱动,使它们能够以更高的转速长久运行,从而达到更高的抽速。我们可以提供 250 - 7000 m³/h 之间各种规格的太阳能真空系统。
- 干式无油罗茨技术 -> 能够处理灰尘、掺杂气体和氟蚀刻
- 尺寸紧凑 -> 便于在粗真空泵顶部安装
- 经过生产验证:适用于所有太阳能应用的标准主力设备
- 散热量小 -> 提供水冷式和风冷式机型
CLAWVAC
具有不锈钢爪的 CLAWVAC 泵非常适合太阳能层压机的第三级应用,因为它们具有现场清洁功能。对于成熟的 SCREWLINE SP 630 F 来说,它们是出色的技术辅助方案
- 不锈钢爪 -> 耐腐蚀,即使在高湿度条件下
- 维护需求低 -> 总拥有成本低
VARODRY
VARODRY
凭借无油运行,我们的 VARODRY 不仅可改善真空清洁度,而且可实现比油封泵更长的运行时间,这得益于其在要求苛刻的太阳能镀膜和太阳能拉晶和晶体生长工艺中表现出的坚固耐用性。
- 干式螺杆技术 -> 经验证的线上太阳能镀膜(低温泵再生、缓冲、工艺和退火)及拉晶和晶体生长(碳化硅)生产
- 风冷式 -> 安装快速而简便
- 维护需求低 -> 总拥有成本低
SOGEVAC
SOGEVAC
我们成熟的 SOGEVAC 油封旋片泵具有强大的业界影响力,是大型建筑玻璃线上镀膜 PVD 系统上的油封泵标准。它是一款高效泵,用于快速抽空真空进样室,与干式螺杆泵相比价格更低。
- 出色的旋片式真空泵 -> 用于真空进样室的 PVD 线上镀膜机的成熟技术
- 在所有压力下均可实现高抽速 -> 快速高效地抽空,不会影响泵性能
- 工作温度低和经过优化的泵油,适用于真空进样室应用 -> 换油间隔更长
- 先进的排气过滤技术 -> 清洁的排气
TRIVAC
TRIVAC
我们的 TRIVAC - PFPE 机型是标准油封解决方案,适用于太阳能拉晶和晶体生长,尤其是用于碳化硅应用。
- 出色的旋片式真空泵 -> 经过生产验证的太阳能拉晶和晶体生长
- 在全球各地使用 -> 还能用于未来的碳化硅技术
- 风冷式 -> 安装快速而简便
氦检漏仪
氦检漏仪
Leybold 莱宝提供各种各样的 PHOENIX 氦检漏仪和定制的专用系统
- PHOENIX QUADRO -> 便携式氦检漏仪,配备 Leybold 莱宝油封真空泵或干式真空泵
- PHOENIX VARIO -> PHOENIX 系列中尺寸非常小的产品,无真空系统。
- 定制真空系统:请联系 Leybold 莱宝,我们将助您实现目标。
PowerBoost
PowerBoost 和 PowerBoost Plus 专为短节拍抽空应用而开发和优化,真空度可达 0.01 mbar。此系统适用于所有短节拍抽空应用。自动检测循环时间还使其具有非常高的灵活性,可以主动适应工艺条件改变。
- 将干式和无油螺杆/罗茨技术相结合 -> 能够处理灰尘,并针对快速抽空进行了优化
- 占地面积小 -> 比过去的泵配置“减少一套装置”
- 噪音非常低 -> 这得益于了解镀膜机下一步操作的智能泵系统
- 节能 -> 创新的节能装置可降低功耗。
SCREWLINE
SCREWLINE SP 630 的干式螺杆泵具有内部转子冷却功能,非常适合要求苛刻的太阳能层压应用,因为它可以抽取 EVA(乙烯-醋酸乙烯脂)、POE(聚辛烯乙烯)和 PVB(聚乙烯醇缩丁醛)聚合物材料产生的单体、低聚物和软化剂脱气。
- SP 630 干式螺杆技术 -> 自 2004 年以来经过生产验证的太阳能层压技术
- 适用于各种层压工艺的优质真空泵
- 风冷式 -> 安装快速而简便
- 可在现场维护-> 真空泵不会导致停机
DRYVAC
我们的 DRYVAC 是一款紧凑、运行安静的水冷型干式螺杆泵,可安装在重型工业环境中。该泵设计用于处理 PECVD 和 PVD 镀薄膜工艺(如 CIGS、CdTe 和异质结)中使用的气体。
- 干式无油螺杆技术 -> 能够处理灰尘、掺杂气体和氟蚀刻
- 尺寸紧凑 -> 便于在生产线上安装
- 噪音非常低 -> 使工作环境得到改善
- 散热量小 -> 可进行集中处理以提高机器性能
- 节能 -> 创新的节能装置可降低功耗。
RUVAC
抽取大量气体或达到并维持低真空压力需要强大的增压泵。我们的 RUVAC WA(U) 和 WS(U) 经典增压泵,以及我们创新的静密封 RUVAC WH(U),既可以使用直接驱动,也可以由变频器驱动,使它们能够以更高的转速长久运行,从而达到更高的抽速。我们可以提供 250 - 7000 m³/h 之间各种规格的太阳能真空系统。
- 干式无油罗茨技术 -> 能够处理灰尘、掺杂气体和氟蚀刻
- 尺寸紧凑 -> 便于在粗真空泵顶部安装
- 经过生产验证:适用于所有太阳能应用的标准主力设备
- 散热量小 -> 提供水冷式和风冷式机型
具有不锈钢爪的 CLAWVAC 泵非常适合太阳能层压机的第三级应用,因为它们具有现场清洁功能。对于成熟的 SCREWLINE SP 630 F 来说,它们是出色的技术辅助方案
- 不锈钢爪 -> 耐腐蚀,即使在高湿度条件下
- 维护需求低 -> 总拥有成本低
VARODRY
凭借无油运行,我们的 VARODRY 不仅可改善真空清洁度,而且可实现比油封泵更长的运行时间,这得益于其在要求苛刻的太阳能镀膜和太阳能拉晶和晶体生长工艺中表现出的坚固耐用性。
- 干式螺杆技术 -> 经验证的线上太阳能镀膜(低温泵再生、缓冲、工艺和退火)及拉晶和晶体生长(碳化硅)生产
- 风冷式 -> 安装快速而简便
- 维护需求低 -> 总拥有成本低
SOGEVAC
我们成熟的 SOGEVAC 油封旋片泵具有强大的业界影响力,是大型建筑玻璃线上镀膜 PVD 系统上的油封泵标准。它是一款高效泵,用于快速抽空真空进样室,与干式螺杆泵相比价格更低。
- 出色的旋片式真空泵 -> 用于真空进样室的 PVD 线上镀膜机的成熟技术
- 在所有压力下均可实现高抽速 -> 快速高效地抽空,不会影响泵性能
- 工作温度低和经过优化的泵油,适用于真空进样室应用 -> 换油间隔更长
- 先进的排气过滤技术 -> 清洁的排气
TRIVAC
我们的 TRIVAC - PFPE 机型是标准油封解决方案,适用于太阳能拉晶和晶体生长,尤其是用于碳化硅应用。
- 出色的旋片式真空泵 -> 经过生产验证的太阳能拉晶和晶体生长
- 在全球各地使用 -> 还能用于未来的碳化硅技术
- 风冷式 -> 安装快速而简便
氦检漏仪
Leybold 莱宝提供各种各样的 PHOENIX 氦检漏仪和定制的专用系统
- PHOENIX QUADRO -> 便携式氦检漏仪,配备 Leybold 莱宝油封真空泵或干式真空泵
- PHOENIX VARIO -> PHOENIX 系列中尺寸非常小的产品,无真空系统。
- 定制真空系统:请联系 Leybold 莱宝,我们将助您实现目标。