RUVAC WH / WHU
罗茨泵
效率很高,泵停机时间少
RUVAC WH / WHU 系列泵是具有高抽气量的水冷式密封罗茨泵,配有高效的电机并可选装变频器,具有出色的性价比以及在 70 Hz 时高达 9800 m³/h 的高抽速。电机和齿轮箱均采用水冷式,从而较好地平衡了泵的内部温度管理。油温显著降低,因此油的使用寿命更长,您可以从中获益良多。
高转速电机取代了气密驱动装置的外壳,可输出相当于 IE2 或 IE3 级效率标准的更高效率。由于高转速电机设计不需要联轴器,因此保养间隔更长,并尽可能地减少了泵故障。
选装变频器可提高 RUVAC WH 的抽速,缩短抽气时间。
RUVAC WHU 泵配有旁通管路,可在大气压力下以功率上限运行。WHU 配备了改进的阀门技术,可在短节拍抽空中实现尽可能高的效率。集成式旁通管路允许在大气压力下启动并运行 WHU 泵,而独特的控制活门提供了充分的防污染性。
RUVAC 罗茨泵可为建筑玻璃镀膜等需要短节拍的应用提供高抽气效率。RUVAC 泵由久经考验的 SOGEVAC 油封式旋片泵或 DRYVAC 和 SCREWLINE 干式螺杆泵作为前级泵,可为真空进出样室应用提供尽可能短的抽气时间,并优化了工艺室应用中的无故障真空抽气。
客户得益
RUVAC WH / WHU 罗茨泵应用广泛,可实现尽可能短的运行周期,例如在快节拍食品包装中。
对于薄膜镀膜应用,RUVAC WH / WHU 罗茨泵可在气相沉积工艺流程之前或锂离子电池制造流程的电解液脱气之前,快速达到低于 10-3 mbar 的压力。
RUVAC 罗茨泵还用于制造单晶硅,单晶硅是制造半导体和太阳能电池的基本材料。我们很乐意为您提供我们广泛的产品以及应用支持和专业技术。
- 行业应用
- 产品目录
行业应用
WH 系列罗茨泵专为在以下应用中部署而开发:对运行压力、周期时间和系统正常运行时间要求较高的各类应用。
- 显示屏生产
- 玻璃镀膜
- 储能应用
- 太阳能行业
- 熔炉应用
- 工业镀膜工艺
- 研究领域
- 空间环境模拟
产品目录
WH 系列罗茨泵专为在以下应用中部署而开发:对运行压力、周期时间和系统正常运行时间要求较高的各类应用。
- 显示屏生产
- 玻璃镀膜
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- 工业镀膜工艺
- 研究领域
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