超高真空应用
超高真空 (UHV) 条件是政府实验室、学术界和私人企业进行复杂研究的先决条件。
国家实验室、大型全球研究型大学以及国防、航空航天或分析仪器制造等行业使用各种真空设备来达到所需的真空度。其中许多组织都依靠 Leybold 莱宝获得高度专用的真空泵、仪器和系统。
UHV 是一种真空状态，其特点是压力低于 10−9 mbar（或 10-7 Pa）左右。在许多表面分析技术中，为了减少表面污染，需要使用超高真空条件。例如，X 射线光电子能谱分析 (XPS)、俄歇电子能谱分析 (AES)、二次离子质谱分析 (SIMS) 或场致发射显微镜 (FEM)。
对纯度有严格要求的薄膜生长和制备技术，例如分子束外延 (MBE) 和原子层沉积 (ALD)，也依赖于 UHV 条件。
在粒子加速器或重力波探测器等研究应用中，超高真空条件将主要帮助减少射束与气体之间的相互作用，并限制来自外部环境的意外扰动。这些真空度要求使用特种材料和抽气原理。
我们提供广泛的高级真空解决方案，可用于艰巨的 UHV 应用。我们的真空组件、系统解决方案和售后服务已在全球主要研究中心表现出了它们的优势。
M-UHV 平台
模块化超高真空实验平台
基于自动化的选件包括
100 | 200 | 300 | 400
极限压力
< 5 x 10-10 mbar
- 基材温度变化范围为 100K - 1000K
- 准确的温度测量
- 模块化概念以及 UHV 转移站设施便于组装集群系统
- 即插即用配置，适用于各种 UHV 实验工具
- 包含旗状样品架
- 相关应用
- 相关产品
- 优势
优势
| 多级罗茨泵 | 涡旋泵 | 涡轮分子泵 (TMP) | 低温泵 |
|---|---|---|---|
ECODRY Plus 优势： |
SCROLLVAC plus 优势： |
TURBOVAC IX & MAG W IP TURBOLAB 优势： |
COOLVAC ICL & BL 优势： |
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| 离子吸气泵和控制器 | 钛升华泵 | NEG 泵 | UHV 硬件、阀门、配件 |
|---|---|---|---|
TITan & DIGITEL 优势： |
优势： |
优势： |
优势： |
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| 多级罗茨泵 | 涡旋泵 | 涡轮分子泵 (TMP) | 低温泵 |
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ECODRY Plus 优势： |
SCROLLVAC plus 优势： |
TURBOVAC IX & MAG W IP TURBOLAB 优势： |
COOLVAC ICL & BL 优势： |
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| 离子吸气泵和控制器 | 钛升华泵 | NEG 泵 | UHV 硬件、阀门、配件 |
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TITan & DIGITEL 优势： |
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