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UNIVEX Coating Systems

UNIVEX 镀膜系统

UNIVEX 系统系列已在大学和工业科研以及试生产中的实验镀膜和薄膜沉积应用中得到很多应用。

真空镀膜产品

Leybold UNIVEX 镀膜系列包括:

  • 箱式镀膜系统
  • 手套箱系统
  • 指纹鉴定系统
  • 定制化解决方案

UNIVEX 镀膜产品是高度精密的系统,由于采用模块化设计,可满足我们大多数客户的需求。 

我们的 UNIVEX 系统配有 Leybold 制造的真空组件。这些泵系统被认为适合相应的处理室尺寸和应用。Leybold 有多种前级泵,可以是干式,也可以是油封式。可以连接各种高真空泵,例如,涡轮分子泵或低温泵。 

主要用途是为客户的镀膜物理气相沉积 (PVD) 工艺提供可靠的真空环境。该系统的工艺设备可由蒸发源(热源、电子束源或有机源)、溅射源、多种基材处理方法(例如加热、冷却)等组成。

我们会根据您的特定需求定制这些系统中的任何一个。

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