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UNIVEX Coating Systems

UNIVEX C

多腔镀膜系统和定制化沉积系统

对于特定应用,Leybold 莱宝提供模块化多腔镀膜机。

定制化系统设计

可以编制工艺程序

工艺真空度高,低残气污染

UNIVEX C - 多腔

UNIVEX C - 多腔

Leybold 莱宝 UNIVEX 多腔镀膜机可以根据客户要求设计,包含独立的工艺室、真空进样室和传送室。每个真空室通常都有自己的高真空系统,可以实现单基片或多基片镀膜。 

在各个真空室之间传送基材时,使用电机驱动的机械手臂传送。UNIVEX 控制软件根据特定的应用要求进行定制,支持编制工艺程序。 

UNIVEX Coating Systems
UNIVEX C - 定制

UNIVEX C - 定制

如果现有的 UNIVEX 系统不适用您的要求,我们还可以为您定制工艺室尺寸或高度?没关系,联系我们就行。

我们期待为您定制镀膜机!

UNIVEX Coating Systems

UNIVEX C - 多腔

Leybold 莱宝 UNIVEX 多腔镀膜机可以根据客户要求设计,包含独立的工艺室、真空进样室和传送室。每个真空室通常都有自己的高真空系统,可以实现单基片或多基片镀膜。 

在各个真空室之间传送基材时,使用电机驱动的机械手臂传送。UNIVEX 控制软件根据特定的应用要求进行定制,支持编制工艺程序。 

UNIVEX Coating Systems

UNIVEX C - 定制

如果现有的 UNIVEX 系统不适用您的要求,我们还可以为您定制工艺室尺寸或高度?没关系,联系我们就行。

我们期待为您定制镀膜机!

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了解 UNIVEX C 900 如何为复杂的涂层解决方案提供支持

Leybold supports the ZSW in complex coating solutions for novel solar cells.

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