我需要哪种阀？

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如何根据所需的真空应用选择真空阀

真空技术对阀的功能和可靠性提出的要求非常高，而工厂中通常要用到大量的阀。只有为每种应用安装了正确的关闭装置，才能满足工厂的需求，而这具体取决于系统的构建方法、操作方法和规格。此外，在真空设备的建造和运行中，阀的流导和漏率等因素都非常重要。

阀的构造

阀的构造都要保证不会降低抽速。因此，当阀完全打开时，在粗真空区和中真空区域内，其流导应等于相应管路组件的流导。例如，角阀的流导将等于具有相同标称孔径和角度的弯管的流导。同样，分子流阀的流导（例如用于高真空区和超高真空区）要非常高，不会发生显著节流。各种组件的实际流导值会在产品目录中给出。

为了满足严格的防漏气要求，高质量真空阀的设计会保证附着在阀轴表面的气体分子在工作过程中不会从外部大气转移到真空中。因此，此类阀会配备金属波纹管，用于将阀轴与大气隔离，或者完全封装阀轴，也就是在大气和真空之间仅存在静态密封。Leybold 莱宝的所有中高真空阀，包括手动阀（图 2.80）和电动阀（图 2.79），都属于此类产品。这些阀的漏率均低于 10^-9 mbar · l/s。

图 2.79 带电磁驱动的真空角阀

阀壳
阀盘
压缩弹簧
电磁线圈

图 2.80 带电磁驱动的真空角阀

阀壳
阀盘
波纹管
压缩空气供应
柱塞

使用油封阀

使用油或润滑脂密封的阀可用于要求严苛的应用。这些阀的漏气率也约为 10^-9 mbar · l/s。但是，摆动式插板阀是一个特例。尽管其密封件上覆盖着润滑脂，但真空和外部大气之间的漏气率实际上与波纹管密封的阀相同，因为当阀运行时，轴只进行旋转运动，因此不会有气体分子进入真空。

根据压力要素选择阀

当工作压力最低为 10^-7 mbar 时，使用具有标准设计的阀就足以满足要求，因为其密封件和外壳材料可保证渗透率和释气不会对实际过程产生显著影响。如果需要低至 10^-9 mbar 的压力，则通常要烘热至 392°F (200°C)，这就需要采用耐热的密封材料（例如 VITILANh）以及机械强度很高的材料，而且（内）表面要制备妥当并保证较低的释气率。此类阀通常采用不锈钢制成。法兰连接用铝垫圈密封，避免了弹性体密封件存在的渗透问题。在超高真空范围内，这些问题尤为重要，因此必须主要使用一些金属密封件。当压力低于 10^-9 mbar 时，附着在材料表面上的气体分子会产生非常大的影响。只能在合理的时间内同时脱气才能将其泵出。在超高真空系统中，脱气温度要高达 932°F (500°C)，这对密封材料以及整个密封几何结构提出了特殊要求。必须使用由金或铜制成的垫圈。

根据真空应用选择阀

不同应用需要搭配不同驱动的阀，也就是手动阀、电动气动或电磁阀，以及电机驱动的阀，例如可变漏率阀。各种外壳设计则进一步增加了阀的多样性。除了使用的各种材料外，还有角阀和直通阀之分。根据标称宽度和预期应用，安装在阀上的法兰可分为小型 (KF)、卡箍型 (ISO-K)、螺栓固定型 (ISO-F) 或超高真空型 (CF) 几种。

除了仅执行隔离功能（完全打开 - 完全关闭位置）的真空阀外，有些特殊功能还要使用一些专用阀。典型的是可变排气阀，其涵盖的排气范围介于 10^-10cm³/s (NTP) 至 1.6 · 10³ cm³/s (NTP) 之间。这些阀通常由电机驱动，适合远程控制；当连接到压力表时，可以设置和保持过程压力。还有些专门阀具有安全功能，例如在断电时快速地自动切断扩散泵或真空系统。例如，SECUVAC 就是这种阀。一旦发生断电，它们会将真空系统与抽气系统之间切断，并对真空系统进行破空。仅在恢复供电并达到一定的最小压力（约 200 mbar）后，才会启用真空系统。

当必须抽腐蚀性气体或蒸汽时，通常要使用由不锈钢制密封阀。对于核技术，则开发了使用特殊弹性体或金属垫片密封的阀。如果您想了解有关特定应用的更多信息，请联系我们。我们会很高兴针对您的应用领域提供更多设计信息。

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