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真空计、真空传感器和复合式真空计的定义

真空仪表可分为真空计(包括单一原理和复合)和真空传感器。对于所有真空应用,都需要适合的真空计。Leybold 莱宝提供多种真空计产品,为各种真空应用提供适合的真空测量解决方案。如果您有特定要求或在真空计选择过程中需要获得帮助,请联系我们,我们很乐意为您提供帮助。

真空计的功能

有源真空计包括控制装置电子器件和实际传感器。这意味着有源真空计是一个紧凑的装置,内含完整的独立式表头和驱动器电子器件。传感器部分通过测量的信号产生电信号。
真空计通常需要 24 V DC 供电,然后根据压强提供 0 - 10 V 相关输出。电子器件承受的加热除气温度被限制在 212°F (<100°C) 以下,在连接电子器件的情况下,可实现有限的加热除气。拆下电子器件后,加热除气温度通常可达 150°C。

线性化输出信号(模拟或数字)意味着电缆上没有传输错误。真空计电缆经过标准化,并且管线对测量的压力值没有影响。
控制器只是一个显示器件,从工厂供电。信号显示在中央显示屏上,通过模拟测量或数字接口来指示压力。(有源)数字真空计独立于控制器,可连续传输测量值。 
需要注意,真空计对辐射和磁场敏感。

复合式真空传感器或组合真空计

顾名思义,复合真空计将各种测量原理结合在一个真空计中,彼此取长补短,提高了操作安全性,而且还具有更高的成本效益。两个传感器组合测量,只需一个壳体、一个接口和一个显示屏。复合真空计还可在更大的真空范围内提供更好的压力监测。常见的复合真空计有皮拉尼/冷阴极真空计 - 请参阅间接压力测量页面以了解更多详细信息。 

真空传感器的功能

与真空计不同,真空传感器只包括传感器部分,不包括电子器件。真空传感器将测量部件与驱动器电子器件完全分开。连接到系统的表头仅包含物理测量所需的部件,而所有其他电子器件均包含在控制器中。控制器通常还配备模拟电压输出、开关点继电器触点和数字接口等功能。

真空传感器提供传感器信号的直接测量值,线缆对测量信号会产生影响,所以根据控制器类型,需要特定的线缆。
真空传感器控制器也是测量系统的一部分,不仅仅是提供电源和显示读数。
与有源真空计相比,无源真空计可耐受辐射并允许较高的加热除气温度。

维护

最后,还必须指出的是,与其他设备一样,真空计的维护对于其功能是否达到预期标准至关重要。所有类型的真空计都必须保持清洁,以确保压力读数可靠。 

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参考资料

真空符号

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真空技术图中常用符号的术语表,这些符号用于直观地表达泵的类型以及抽取系统中的部件

 

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单位术语表

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了解真空技术中使用的测量单位,各种符号的含义以及传统单位的现代等效单位

 

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参考资料和来源

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