气体分析和质谱仪
了解为何气体分析对真空技术至关重要,并了解质谱仪的工作原理。了解在使用质谱仪时,如何换算压力和其他基本规格值。本节还介绍了如何测量局部压力以及有关电离的基本信息。
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参考资料
- 真空符号
- 单位术语表
- 参考文献和来源
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