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如何根据抽速选择前级泵

通过高真空泵抽的气体或蒸汽必须要经过前级泵的处理。此外,在高真空泵(扩散泵涡轮分子泵)的运行中,一刻也不能超过最大许可前级压力。如果 Q 是高真空泵在进气压力 pA 下以有效抽速 S有效抽取的有效气体或蒸汽的速度,则该气体量也必须是前级泵在前级压力 pV 下以抽速 SV 输送的气体量。有效气载Q 可通过下面的连续性方程式计算得出: 

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(2.41)

前级泵所需的抽速可通过下式计算: 

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(2.41a)

抽速计算示例

如果扩散泵的抽速为 400 l/s,则在使用冷阱时,有效抽速为产品目录中所示值的 50%。最大允许前级压力为 2 · 10-1 mbar。前级泵所需的最低抽速取决于根据式 2.41a 计算得出的进气压力 pA。 

在 pA = 1 · 10-2 mbar 的进气压力下,产品目录中所示的高真空泵的抽速约为 100 l/s,取 50% 则为 50 l/s。因此,前级泵的抽速必须至少等于 

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在 pA = 1 · 10-3 mbar 的进气压力下,泵已达到 400 l/s 的额定抽速;现在有效抽速为 S有效 = 200 l/s;因此,前级泵所需的抽速等于 

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如何根据压力范围选择前级真空泵

如果要使用高真空泵抽压力在 10-3 ~ 10-2 mbar 之间的蒸汽,则必须使用额定抽速为 12 m3/h 的前级泵,并且在 2 · 10-1 mbar 的压力下,抽速必须为 9 m3/h。如果不用抽蒸汽,则在大多数情况下,会使用不带气镇的单级旋片泵。如果还需要抽(哪怕只是极少量的)蒸汽,则始终应使用带气镇的双级泵作为前级泵,该泵除起到气镇作用外,还可提供所需的 2 · 10-1 mbar 的抽速。

如果高真空泵只在进气压力低于 10-3 mbar 的条件下使用,则选用较小的前级泵就能满足要求;在本例中,可选用抽速为 6 m3/h 的泵。例如,如果连续进气压力还要更低,低于 10-4 mbar,则可根据式 2.41a 计算前级泵所需的抽速,如下所示: 

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理论上,在这种情况下,可以使用抽速约为 1 m3/h 的更小前级泵。但在实际应用中,应安装稍大一些的前级泵,因为尤其是在启动真空系统时,可能会在短时间内产生大量气体。如果前级泵不能立即抽走这些气体,就会危及高真空泵的运行。如果始终在极低的进气压力下工作,则建议在高真空泵和前级泵之间安装一个缓冲空间(前级管路容器或缓冲罐),这样前级泵只需要运行很短时间。任何情况下,前级压力绝不能超过最大许可前级压力。 

缓冲罐的大小取决于每单位时间要抽的气体总量。如果抽速极低,按照经验法则,在隔离前级泵的情况下,0.5 l 的缓冲罐允许 1 分钟的抽真空时间。 

要找到规格最合适的前级泵,在很多情况下都可以使用图表法。使用该方法时,起始点为泵的抽速特性(根据式 2.41)。 

很容易从泵的测量抽速(体积流量)特性推导出泵的抽速特性,图中所示为一台 6000 l/s 扩散泵(参见图 2.76 中的曲线 S)。要得出气载特性(图 2.76 中的曲线 Q),必须将 S 的每一个坐标值乘以其相应的 pA 值,并根据该值画出曲线。如果假定扩散泵的进气压力不超过 10-2 mbar,则最大气载为 9.5 mbar · l/s 

图 2.76 以图表法确定合适的前级泵时使用的图表。

a) 6000 l/s 扩散泵的抽速特性
b) 双级旋转滑阀泵的气载曲线系列(V.B. = 临界前级真空压力)

因此,前级泵的规格必须使泵能够在(前级泵的)进气压力(等于或最好低于扩散泵的最大许可前级压力)下处理此气载;对于该 6000 l/s 扩散泵,这个压力就是 4 · 10-1 mbar。 

考虑到双级滑阀泵的抽速特性后,计算每个泵的气载的方式与在图 2.76 a 中查找扩散泵的 Q 曲线时使用的方法相似。结果为图 2.76 b 中编号为 1–4 的 Q 曲线组,其中考虑了 4 个双级泵,其额定速度分别为 200、100、50 和 25 m3/h。该 6000 l/s 扩散泵的临界前级压力为 V.B. (p = 4 · 10-1 mbar)。现在,最大气载Q = 9.5 mbar · l/s 显示为水平线 a。这条线与四条气载曲线相交。从右到左计数,与低于临界前级压力 4  · 10-1 mbar 的进气压力相对应的第一个交点是与气载特性曲线 2 相交。这对应的是额定抽速 100 m3/h 的双级泵。因此,在上述假设条件下,此泵就是适合该 6000 l/s 扩散泵的正确前级泵。

但是,如果抽真空工艺不太可能达到 9.5 mbar · l/ s 的最大气载,则当然可以使用更小的前级泵。例如,从图 2.76 b 中的线 b 可以清楚看出,它对应的最大气载仅为 2 mbar l/ s。在此情况下,选用 25 m3/h 的双级泵就能满足要求。 

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