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如何计算抽空时间

举例来说,在实际生产中,当估算某个拟建真空装置的成本时,根据有效抽取速度 Seff、所需压力 p 以及真空室容积 V,按公式计算抽真空时间会太过麻烦和耗时。在这种情况下,计算图表非常有用。通过使用图 9.7 中的计算图表,如果相关泵的抽速在所涉及的压力区域内比较恒定,则可以快速估算出使用旋片泵对真空装置进行抽空所需的时间。通过研究给出的例子,您可以轻松理解计算图表的使用方法。 

图 9.7 在粗真空压力范围使用计算图表确定容器的抽空时间 tp

列 ➀:容器体积 V,单位为升
列 ➁:在容器内的最大有效抽速 Seff,max,单位为升/秒(左)或立方米/小时(右)。
列 ➂:抽空时间 tp,单位为秒(右上)、分钟(左中)或小时(右下)。
列 ➃:右侧: 
如果在开始抽空时,pSTART 为大气压力 (pn = 1013),抽4空结束时的压力为 pEND,单位为毫巴。所需的压力 pEND 要减去泵的极限压力 pult,得到的差值要在数值列中使用。如果存在流入 qpV,in,则在列中使用值 pend – pult,p – qpV,in / Seff, max
左侧:
压力降低比 R = (pSTART – pult,p – qpV,in / Seff,max)/(pend – pult,p – qpV,in / Seff,max),如果抽空操作开始时的压力为 pSTART,而且要通过抽空将该压力降低至 pEND。计算图表中考虑到了抽速对压力的依赖性,并表达在列 ➄ ult,p 中。如果泵压 pult,p 相对于抽空结束时想要达到的压力 pend 较小,则相当于在整个抽空过程中抽速度S 或 Seff 保持不变。

例 1 - 使用计算图表 9.7:
某个容积为 V = 2000 l 的容器要从 pSTART = 1000 mbar 的压力(大气压)开始使用滑阀泵抽真空至 pEND = 10-2 mbar,该泵在容器中的有效抽速 Seff,max = 60 m3/h = 16.7 l · s-1。利用计算图表,两步就可以求出所需的抽真空时间:

1) 确定 τ:通过 V = 2000 l(列 ➀)和 Seff = 60 m3/h-1 = 16.7 l · s-1(列 ➁)画一条直线,并在这些直线与列 ➂ 的相交处读出值 t = 120 s = 2 min(请注意,该步骤的不确定性约为 Δτ = ± 10 s,所以相对不确定性约为 10%)。

2) 确定 tp:旋片泵的极限压力为 pult,p = 3 · 10-2 mbar,该装置非常清洁且漏气可忽略不计(取 qpV,in = 0);所以 pSTART – pult,p = 10-1 mbar – 3 · 10-2 mbar = 7 · 10-2 mbar。现在,通过在 1) τ = 120 s(列 ➂)下找到的点和点 pEND – pult,p = 7 · 10-2 mbar(列 ➄)画一条直线,可读出这些直线与列 ➃ 的相交点 tp = 1100 s = 18.5 min。(同样,该步骤的相对不确定性约为 10%,因此 tp 的相对不确定性约为 15%。)考虑到额外的安全系数 20%,可以估算出抽真空时间 tp = 18.5 min · (1 + 15 % + 20 %) = 18.5 min · 1.35 = 25 min。

例2 - 使用计算图表 9.7:
要将一个容积为 V = 2000 l(如例 1 所示)的清洁干燥真空系统 (qpV,in = 0) 抽真空至压力为 pEND = 10-2 mbar。因为此压力小于滑阀泵的极限压力 (Seff,max = 60 m3/h = 16.7 l ( s-1 = 3 · 10-2 mbar),所以,必须将罗茨泵与滑阀泵结合使用。前者的起动压力为 p1 = 20 mbar,抽速为 Seff,max = 200 m3/h – 55 l · s-1 以及 pult,p – 4 · 10-3 mbar。使用滑阀泵从 pstart = 1000 mbar 抽真空至 p = 20 mbar。然后连接罗茨泵,接着从 p= 20 mbar 抽真空至 pEND = 10-2 mbar,其中滑阀泵充当前级泵。对于第一个抽气步骤,可如例 1 所述,利用计算图表得出时间常数 τ = 120 s = 2 min(画一条通过 V = 2000 l, Seff = 16.7 l · s-1 的直线)。如果将列 ➂ 中的该点与列 ➄ 中的点 p1 - pult,p = 20 mbar – 3 · 10-2 mbar = 20 mbar 连接(此处忽略了 pult,p,即滑阀泵在 1000 mbar ~ 20 mbar 的整个范围内抽速保持不变),就可以得到 tp,1 = 7.7 min。罗茨泵必须将压力从 p1 = 20 mbar 降至 pEND = 10-2 mbar,即压力降低比 R = (20 mbar – 4 · 10-3 mbar) / (10-2 mbar-4 · 10-3) = 20/6 · 10-3 mbar = 3300。

可得到时间常量(画一条过 V = 2000 l(列 ➀)和 Seff = 55 l · s–1(列 ➁)的直线) = 37 s(列 ➂)。
如果将列 ➂ 中的该点连接到列 ➄ 中的 R = 3300,则可在列 ➃ 中得到 tp, 2 = 290 s = 4.8 min。如果考虑转换时间 tu = 1 min,则可得到抽空时间 tp = tp1 + tu + tp2 = 7.7 min + 1 min + 4.8 min = 13.5 min。

只要相关泵以不变的抽速抽真空至所需压力,就可通过参考例 1 所述方法确定旋片泵和滑阀泵的抽真空时间。 

一般而言,罗茨泵在所涉及的工作区域不会保持抽取速度不变。在评估抽真空时间时,通常假定一个平均抽取速度即可。在这种情况下,计算图表的例 2 和例 3显示,罗茨泵的压缩比 K 并不是针对大气压 (1013 mbar),而是针对罗茨泵开启时的压力。 

在中真空区,气体释放或漏气率开始成为重要影响因素。根据计算图表 9.10,可以近似计算在该真空区域中的抽空时间。 

 

图 9.10 在中真空范围确定抽空时间(考虑容器壁释放的气体)。

计算图表显示了泵的标称抽速、真空室体积、内部表面的尺寸和性质,与将压力从 10 mbar 降低至 10-3 mbar 所需时间之间的关系。

例 1:某真空室的容积为 70 m3,内部表面积为 100 m2;假设该容器的气体释放量较为可观,为 2 · 10-3 mbar · l · s-1 · m-2。那么,第一个问题是确定标称抽速为 1300 m3/h 的泵能否大体上满足要求。将例中 100 m2 的表面积的坐标与 2 · 10-3 mbar · l · s-1 · m-2 的气体释放量相连,会得到一个交点 A,从该点画一条斜率向上的直线并得到交点 B,然后从 B 点画一条垂直线并连接到基于泵的抽速 1300 m3/h (D) 对应的曲线上。如果该曲线的投影在标记的曲线区域 (F) 以内,则泵的抽速足以应对释放的气体。然后,通过将抽速刻度上的点 1300 m3/h 连接到容积刻度上的点 70 m3 (C):将直线延长,可得到在时间刻度上的交点 30 min (E),进而可得到相关的抽真空时间(将压力从 10 mbar 降至 10-3 mbar)为 30 min。

例 2中,假设
一个容器(容积 = 约 3 m3)的
表面积为 16 m2,气体释放量较少,为
8 · 10-5 mbar · l · s-1 · m-2,如果要在 10 分钟内将压力从 10 mbar 降低至
10-3 mbar,则泵至少要具有多大的抽速。计算图表显示
在此例中,标称抽速为 150 m3/h 的泵可以满足要求。

在很多应用中,提供任何给定时间内抽空可达到的压力是非常有用的。通过计算图表 9.7,这一点很容易做到。

作为第一个例子,假设要使用单级滑阀泵 E 250 对一个容积为 5 m³ 的容器抽真空;该泵的有效抽取速度为 Seff = 250 m3/h,有气镇时,可达到的极限压力为 pend,p = 3  · 10-1 mbar,无气镇时,可达到的极限压力为 pend,p = 3  · 10-2 mbar;现在我们要利用计算图表来得出该泵的抽真空特性,也就是压力 p(表示所需达到的压力 pend)与抽真空时间 tp 之间的关系。在有气镇和无气镇时,时间常数 τ = V / Seff(见式 2.36)不变,从计算图表 9.7 可得出大约为 70 s(列 3)。对于 pend > pend,p  的任何给定值,画一条连接列 3 上的点 70 s 与列 5 右侧刻度上的 (pend – pend,p) 值的直线,得到相应的 tp 值。该步骤的结果在图 2.77 中显示为曲线 a 和 b。 

Leybold - Vacuum Fundamentals graphics
Leybold - Vacuum Fundamentals graphics

图 2.77 使用标称抽速为 250 m³/h 的滑阀泵 E 250(带 (a) 和不带 (b) 气镇),以及罗茨泵/滑阀泵组合 WA 1001/E250(WA 1001 的切入压力为 10 mbar (e))对容积为 5 m³ 的容器进行抽空时所需的抽真空时间 tp。

计算真空机组的抽空时间

涉及泵组的 (pend,tp) 计算更加复杂。下面讨论的第二个例子涉及到使用泵组罗茨泵 WA 1001 和前级泵 E 250 抽空一个容积为 5 m3 的容器(如上例所示)。首先,单独使用 E 250 泵(无气镇)开始抽空,直至罗茨泵在 10 mbar 压力下开启。由于 WA 1001/E 250 组合的抽速特征(与 E 250 的特征不同)在压力范围的最佳部分不再呈水平直线(将其与图 2.19 中的 WA 2001/E 250 组合相应的特征进行对比),这里引入了一个与定义的压力范围相关的近似值 - Seff 的平均值。对于 WA 1001/E 250 组合,可采用以下平均值: 

Seff = 800 m3/h,在 10 – 1 mbar 的范围内, 

Seff = 900 m3/h,在 1 mbar - 5  · 10-2 mbar 的范围内, 

Seff = 500 m3/h,在 5  · 10-2 - 5  · 10-3 mbar 的范围内 

图 2.19 不同泵与相应前级泵组合的抽速曲线

WA 1001/E 250 组合的极限压力为:Pend,p = 3  · 10-3 mbar。根据这些值,可以得出计算图表中的相应时间常数;然后可以通过计算压力下降比 R,在列 5 的左侧找到抽真空时间 tp。结果为图 2.77 中的曲线 c。

Leybold 莱宝的计算机辅助计算

当然,我们的工业系统是通过高性能计算机程序完成计算工作的,但通常项目初始做简单评估的时候我们并没有这种高性能计算机。 

抽空会释放气体和蒸汽的真空腔 

如果在抽空过程中会出现蒸汽和气体,则上述关于抽真空时间的观察结果会发生显著改变。尤其是执行烘热过程时,当去除真空室表面的污染时,可能会释放大量蒸汽。所得到的所需抽真空时间将取决于一些截然不同的参数。对真空室的加热会伴随着更多气体和蒸汽从真空表面释放。由于温度的升高导致气体和蒸汽从真空内表面加速释放,真空室去污染的速度也会提高。 

所述烘热工艺的许可温度实际上主要取决于真空室的制造材料。那么,仅在释气已知时,才可能估算出精确的抽真空时间。然而,除了干燥过程外,其他过程很难实现精确估算。

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