氦检漏仪如何用于工业检漏和整体检漏
真空封壳检漏- 整体检漏
图 5.4 泄漏检测方法和术语
a：整体检漏；被测件内部为真空
b：局部检漏；被测件内部为真空
c：整体检漏（封壳内部富集测试气体）；被测件内部充注测试气体至正压
d：局部检漏；被测件内部充注测试气体至正压
封壳检测 - 被测件内部充注氦气至正压
通过测量浓度然后计算漏气率进行的封壳检测
使用检漏仪直接测量漏气率 - 刚性封壳
充注氦气至正压的被测件被置于刚性真空室并连接至氦检漏仪时，可直接在检漏仪上读取整体漏气率。
使用已抽真空的被测件进行封套检测
封套 =“塑料罩”
将已抽真空的被测件放入一个轻质（塑料）封套内，然后在抽除空气后充注氦气。当使用塑料袋作为封套时，在充注氦气之前，应向被测件挤压塑料袋，尽可能地排出更多空气，以及尽可能地使用纯氦气进行测量。被测件的整个外表面要与测试气体接触。如果测试气体通过漏气点进入被测件，将会指示整体漏气率，而不考虑漏气点的个数。此外，当在封闭区域重复检测时，必须注意每次取下封套时，房间内氦气的含量会迅速上升。因此，塑料袋更建议用于大型设备的一次性检测。这些使用的塑料封套通常被称为“塑料罩”。
刚性封壳
另一方面，使用固体真空容器作为刚性封壳更适合进行整体检测的重复测试。使用固体封壳时，还可在检测完成后回收氦气。
“背压”测试，“加压储存”
“背压”测试用于检查处于气封状态并且内部空腔充有气体的组件的气密性。将要检测的组件（例如晶体管、IC 外壳、干簧继电器、簧片触点开关、石英振荡器、激光二极管等）放置在充满氦气的压力容器中。通入测试气体至较高压力（5 至 10 bar），然后让系统保压几小时，被测件如果漏气，其内部会积聚测试气体（氦气）。事实上这就是“背压”过程。然后，要执行漏气检测，将经过“背压”处理的被测件置于真空室中，方法与真空封壳测试中所述相同。然后确定总体漏气率。但是，对于存在很大漏点的被测件，其内部的测试气体甚至在真空室抽真空的过程中就会流失，因此，在使用检漏仪进行真正的泄漏检测时，就无法再辨别其是否漏气。所以，在真空室进行检漏之前，应该增加一项用于检测很大漏点的测试。
工业漏气检测
使用氦气作为测试气体进行的工业检漏的主要特征就是检漏设备完全集成到生产线中。此类检测装置的设计和结构自然会考虑到具体要执行的检漏任务（例如，车辆铝合金轮辋的检漏测试或金属桶的检漏测试）。这种方法会尽可能地使用大规模生产的标准化组件模块。待检部件通过输送机系统送入检漏系统（使用刚性封壳和正压进行的封壳检测，或被测件内部抽真空后进行的封壳检测；见上文相应部分）。在这里，会使用整体法逐个地检测待检部件，并自动向前移动。检出的漏气被测件会被分流至一侧。
氦气检漏法有哪些优点？
从工业角度来看，氦气检漏法的优点总结如下：
- 使用此过程可检测到的漏气率远远超出所有实际需求。
- 它属于整体检漏，也就是检测所有漏气点的总漏气率，这有助于检测微孔和海绵状分布的漏气点，这些小漏气点可造成与单个大漏气点相当的漏气量。
- 测试步骤和顺序可以完全自动化。
- 由循环进给的自动测试系统对装置进行检查（自检测），确保出色的检测可靠性。
- 氦气无毒、无危险（无需监测最大许可浓度）。
- 可以在打印机上轻松记录检测结果，指示参数和结果。
使用氦气检漏法可显著提高效率（循环时间只有数秒），并可显著提高检漏可靠性。鉴于以上原因以及 EN/ISO 9000 的要求，传统的工业检漏法（水浴法、肥皂泡检漏等）现已基本被淘汰。
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References
- Vacuum symbols
- Glossary of units
- References and sources
Vacuum symbols
Vacuum symbols
A glossary of symbols commonly used in vacuum technology diagrams as a visual representation of pump types and parts in pumping systems
Glossary of units
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An overview of measurement units used in vacuum technology and what the symbols stand for, as well as the modern equivalents of historical units
References and sources
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References, sources and further reading related to the fundamental knowledge of vacuum technology
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