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真空泵维护 - 一般故障排查

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本节介绍了有关故障排查和泵维护的一般说明。此外，还探讨了一些潜在故障及其原因。

真空泵的一般操作信息

安装泵之前，应在进气口和出气口打开的情况下检查电机的旋转方向。从电机端看时，驱动轴应逆时针旋转。注意电机或壳体上指示旋转方向的箭头。如果电机旋转方向错误，可通过调换电机连接端子排处的两根相线来纠正此问题。

当无法达到所需的极限压力或者达到所需极限压力的速度过慢时可能的故障原因

如果真空设备完全无法达到所需的极限压力，或者需要在极长的抽真空时间后才能达到所需的极限压力，则可能是以下原因所致：

真空系统可能漏气或变脏，
泵可能变脏或损坏，
真空计可能有故障。

如果只有在极长的抽真空时间后才能达到所需的极限压力，则

真空系统可能变脏，
抽真空管路可能阻塞或直径太小，
泵可能变脏或容量太小，
可能其他原因导致了抽速受到限制。

为了查明故障，您应将已抽真空的容器与泵系统分离，并单独查看泵系统能否达到极限压力。如果不能达到极限压力，请参阅与所用类型的泵相关的章节。

接下来，您需要使用升压法等方法来检查容器和管路/法兰接头是否存在漏气和污染。法兰密封件是已知的最容易出现漏气的部位，一些最初看起来无关紧要的轻微划痕和机械损坏也可能导致法兰密封件漏气。如果容器的这些部位没有缺陷，则要检查测量系统的清洁度（请参阅“仪表维护”页面）。

真空容器污染以及消除污染

检测污染的一种常用程序就是使用同一个真空计测量管路中插入和不插入冷阱时的压力值，并将结果进行比较：如果容器受到污染，则充注了液氮的冷阱会导致压力突然下降一个或更多的数量级，因为蒸气会在冷阱中冻结。

消除金属设备上的污染

金属部件通常会出现痕量的油和油脂污染。如果无法通过对容器抽真空轻松地除去这些污染物，则必须使用适当的有机溶剂（有些情况下不适合使用变性酒精）进行清洁。使用工业中常用的蒸汽浴，可实现最大程度的清洁度。要达到极低的压力范围 (< 10^-7 mbar)，金属部件在清洁后必须在高达 200°C 的温度下进行加热除气。受到严重污染的金属部件必须首先通过对表层进行切削或喷砂处理来得到清洁。这些方法可能会增加表面粗糙度，导致处理过的区域的表面积变大，并且可能形成易于吸附气体分子的活跃点。建议在蒸汽浴中进行补充清洁。在某些情况下，对表面进行电解蚀洗可能很有帮助。对于高真空部件，必须确保这种蚀洗不会变为蚀刻，否则将会严重增加表面积。当在粗真空和中真空范围内工作时，无需对喷砂处理过的表面再进行抛光，因为在这些压力范围内，表面吸附并不起到主要作用。

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