Turbomolecular Pumps

TURBOVAC MAGiNTEGRA 带磁性转子悬浮功能的涡轮分子泵

耐用,用途广泛,清洁,振动小

专为敏感应用量身定制

  • 镀膜应用:从玻璃镜片、医疗设备的生产到航空航天部件和太阳能电池板的镀膜。
  • 科学研究:TURBOVAC MAG 系列的清洁、无振动运行使其成为精密研究过程(例如质谱仪或电子显微镜)中的热门选择。
  • 工业应用:在该行业,可靠性和稳健的性能对于保持高生产水平至关重要。TURBOVAC MAG 泵的高水平制造标准以及这些泵提供的耐磨损性使其成为保证实现这些性能的理想选择。

TURBOVAC MAG 2807 iS 和 3207 iS

3000 l/s 抽速级别中结构非常紧凑的磁悬浮涡轮泵

使用 TURBOVAC MAG iS 泵时,定子和转子叶片在电磁体的作用下漂浮和保持在位,而非利用油润滑轴承系统来做到这一点。这有许多好处,包括: 

  • 尽量减小磨损,从而减少维护次数,而且不再需要更换机油或油润滑轴承衬套 

  • 显著降低噪音和振动水平。这使其特别适用于需要清洁、干燥和无烃真空的敏感应用  

  • 出色的性能,抽速高达 3200 l/s 

但是,真正令 TURBOVAC MAG iS 系列脱颖而出的是其多功能性。它们的重量低于 60 千克,是 3000 l/s 级别的泵中最轻、最紧凑的泵,可朝任意方向安装。对于空间有限或需要灵活部署的环境来说,它们是理想之选。  

TURBOVAC MAG 3207 iS - 正视图

TURBOVAC MAG 2807 iS

TURBOVAC MAGiNTEGRA

兼顾精准、耐用和可靠于一身!

TURBOVAC MAGiNTEGRA系列磁悬浮分子泵可靠耐用,适用于分析、研究和严苛的工业镀膜行业。

  • 高抽吸速度和高抽气量可加快抽气速度,从而缩短设备的循环时间。 
  • 5 轴主动磁浮系统,将高可靠性与安全性相结合。
  • 配置集成的变频器和电源:不再需要传统的机架安装式控制器和电缆。

为了安全起见,在断电的情况下,驱动系统切换至发电机模式,以通过缓慢减速来保持转子悬浮。当电源恢复时,泵开始自动加速至正常速度。

TURBOVAC MAGiNTEGRA 具有 IP 54 防护等级,是在恶劣工业应用环境中使用的理想之选。

磁悬浮分子泵可以在10-1 mbar (0.75 x 10-1 Torr) 至 10-10 mbar (0.75 x 10-10 Torr) 的压力范围内使用。抽速度范围 300 l/s 到 2200 l/s 。

TURBOVAC MAGiNTEGRA 分子泵可以满足如下使用要求:

  • 低噪音和低振动运行, 
  • 无油真空
  • 免维护运行时间长
Turbomolecular Pumps

灵活

这些高真空泵安装在任何方向都能实现高性能运行,并且可以轻松集成到您的真空系统中。

TURBOVAC MAG Integra 体积小,安装简单,能够产生清洁的高真空和超高真空。

它设计灵活,控制器安装在侧面或底部,采用创新的模块化工业通信解决方案,系统集成更容易。

适用于工业应用,比如 PVD、显示、光学和建筑玻璃镀膜。

可靠

TURBOVAC MAGiNTEGRA 对于气体具有高抽速和高压缩比。

对如下影响不敏感:

  • 工艺颗粒和灰尘
  • 气体冲击。

无油,可确保清洁的高真空和超高真空条件。

它集成了复合型和经典型涡轮转子级以及板载变频器和电源。

振动非常小,具有高度的操作可靠性。

免维护

免维护运行时间长达 10000 小时,具有监测和自我保护功能。

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