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TURBOVAC i and MAG Group

涡轮分子真空泵

机械式、混合式和磁悬浮式高真空泵

涡轮分子泵用于需要高洁净度的高真空或超高真空的应用,例如核聚变研究、镀膜工业等及分析仪器等应用。  

从原理上来看,涡轮分子泵是一种在壳体中快速旋转的涡轮,涡轮的各级都配备了多个转子叶片。旋转的转子叶片之间装有固定的定子盘,其叶片按相反方向放置。  

通过旋转的转子叶片将动量传递到气体分子,气体分子最初的非定向热运动变成定向运动,即从泵的进口延轴方向移动到排气口。  

在分子流范围内(即低于 10-3 mbar (0.75 x 10-3 Torr) 的压力),气体分子的平均自由程远大于转子和定子叶片之间的间距(通常为十分之几毫米)。相应地,分子主要与密集的转子叶片发生碰撞,从而产生高效的抽气作用。在层流(恒流)范围内(即高于 10-1 mbar (0.75 x 10-1 Torr) 的压力),分子之间的频繁碰撞会影响转子的抽气效率。  

因此,涡轮分子泵不能在大气压力下工作。 

TURBOVAC MAGiNTEGRA:磁悬浮涡轮分子泵

紧凑型分子泵,非常适合具有挑战性的应用,例如镀膜、分析仪器和科学研究。 

MAGiNTEGRA 泵灵活、高效、维护简便,并具有高耐受性和出色的真空性能。

TURBOVAC i:混合涡轮分子泵

高度通用型分子泵,适用于科学研究、分析仪器、生命科学以及小型工业和镀膜领域的真空应用。

出色的抽气性能,采用一体式驱动器,易于设备集成。提供 8 种规格,配有多种型号和附件,适合您的大多数工艺需求。

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我们的客户需求工程 (CFE) 团队致力于按照您的技术需求交付产品,并将管理交付流程的各个方面——从客户需求的收集到产品原型的设计。他们还将依照您的需要提供给您合适的真空泵。

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