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IONIVAC ITR 90

IONIVAC

热阴极 Bayard Alpert

为什么选择 IONIVAC?

我们的 IONIVAC 真空计系列,无论是无源 (IE) 还是有源 (ITR),都能测量超高真空。这可以对实验进行详细跟踪,并控制流程中的可变因素。 

IONIVAC 热阴极真空计的工作原理是让热阴极发射电子撞击阳极,测量的气体因此被电离。通过第三电极检测产生的正离子电流,该电流用作与压力成比例的信号。 

根据所用的热阴极技术类型,热阴极电离传感器可提供 10-12 至 10-1 mbar(0.75·10-10 至 0.75·10-1 Torr)的广泛测量范围。

IONIVAC ITR90/200 系列

经过优化的组合变送器

IONIVAC ITR 是一款经过优化的组合变送器。通过将热阴极电离传感器(采用热阴极电离的 Bayard Alpert 方法)与皮拉尼传感器相结合,可实现 5 . 10-10 至 1000 mbar(3.75 . 10-10 至 750 torr)的真空压力测量。 

有两种主要型号可供选择:

  • 带单个热阴极灯丝的 ITR 90
  • 带双灯丝的 ITR 200,通过内置冗余配置延长使用寿命。如果出现故障,它将自动切换灯丝,并指示灯丝出现故障。为了进一步延长真空计的使用寿命,可以运行脱气程序,从而重新增强灯丝的性能。 

通过这两种类型的 IONIVAC ITR,我们提供模拟、数字和 Profibus 接口,以及用于本地压力显示的可选集成显示屏。 

在对这些真空计进行维修时,真空计头部将保留传感器的校准功能,因此在更换管子时,会对真空计进行预校准,并且将立即获得准确结果,而无需进行任何零点/大气校准。

您将获得:

  • 从 1 . 10-10 mbar/torr 到大气压的连续压力测量  
  • 紧凑型设计,带有可更换的阴极和脱气模式 
  • 可烘烤的传感器,用于 UHV 测量 
  • 提供模拟、显示、数字和 Profibus 接口,便于安装 
  • 在 10-2 至 10-9 mbar 的典型工艺压力范围内具有高重复性  
  • 通过无源测量进行 UHV 压力测量,可实现低至 e-12mbar/torr 的测量  
IONIVAC ITR 90

IONIVAC IE 414/IE 514 系列

UHV 测量中的主要产品

我们的 IONIVAC IE 系列真空计是超高真空测量中的主要产品,具有非常低的基准压力读数和高精度。 

与我们的无源真空计控制器配合使用,可用于要求很低压力读数的环境。 

无源 IONIVAC IE 传感器使用热阴极电离技术来测量非常低的压力。 

  • IE 414 采用 Bayard Alpert 技术,可从 2 . 10-11 至 e-2 mbar(1.5e-11 至 e-2 torr)的范围内进行测量。 
  • 要达到非常低的压力,您需要降低 X 射线的影响。这是在我们的 IE 514 系列真空计上使用热阴极电离提取方法来完成的。借助此传感器技术,您可以读取 2e-12 至 1e-4 mbar(2e-12 至 7.5e-5torr)的压力。
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