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真空系统工艺应用,需要测量真空性能。

用于真空测量的设备被称为真空计,测量范围从高于大气压 (~ 2000 mbar (1500 Torr)) 至 10-12 mbar/torr ,没有任何一种技术能够在此大范围内测量。

因此,莱宝提供了多种不同的真空计,每种真空计都有自己的特点,能够在自己的量程内测量真空。为了扩大测量范围,可以将多种技术组合到一个真空计中,以减少系统中所需的连接。  

真空测量原理分类:直接测量和间接测量。

  • 如果是直接测量(测量结果气体种类无关),通过真空计获得的读数与气体类型无关,测得的压力始终是系统的真实压力。这些真空计通常依靠膜片的机械偏转来运行,其测量范围是从高于大气压力至 10-4 mbar/torr 压力。此类真空计可以在较小量程内提供高精度,并且通常非常坚固。 
  • 如果是间接测量,测量通过气体相关特性(例如热导率、电离概率)进行测定。这些特性不仅取决于压力,还取决于气体的摩尔质量,所以测量结果与气体种类相关。真空计读数以的空气或氮气标定,对于其他蒸汽或气体,必须增加相应的修正系数。此类真空计能够在更广的范围(大气压至 10 x 10-12mbar 压力,具体取决于真空计类型/组合)测量,但精度略低。 

区分真空计的另一个判断依据是传感器还是变送器。莱宝既提供真空变送器,也提供真空传感器。

  • 真空变送器是指将传感器与信号控制和输出电子器件结合在一起,以便轻松集成到系统中。 
  • 无源测量是指将传感器与电子器件分离,然后将电子器件单独保留在专用控制器中。其优点是,它们可在电子器件无法正常工作的环境(例如高辐射环境)中使用,并且可以从上述环境中移除单独的控制器。

真空计和控制器

宽量程真空测量

在宽泛的真空范围内进行稳定、可靠、准确的压力测量。

  • THERMOVAC TTR/TR 系列 - 特别适用于监控粗真空和前级真空。 
  • PENNINGVAC PTR/PR 系列 – 支持高真空测量,也称为全量程真空计。
  • IONIVAC ITR/IE 系列 – 将真空计量程扩展到超高真空范围。

精密真空测量

在恶劣的环境中实现高水平的准确性和重复性,这些真空计是精细系统控制的理想选择。

  • CERAVAC CTR 真空计 - 电容薄膜真空计系列的好选择。
  • DI/DU 真空计 - 准确性略低,但适用于脏污/潮湿/多尘环境。

真空泵和真空计控制器

对既需要显示测量结果又将测量结果集成到控制系统中的需求,莱宝提供一系列控制器,可供您选择。

便携式和机械式真空计

借助装有集成显示屏且由电池供电的真空计,您可以随时随地进行测量。如果您只需要指示真空而非精确测量,那么机械式是您的理想选择。

IONIVAC 热阴极电离真空计

热阴极真空计与冷阴极不同,它在传感器中内置了一根热丝来发射电子。该技术能够测量中到到超高真空 (10-12mbar/torr),但需要注意:传感器需要更多的保护。

与冷阴极技术一样,它们在约 10-2mbar/torr 时停止测量,通常与集成式皮拉尼真空计结合使用,实现单个真空计中提供全量程测量。

莱宝还提供极高真空热阴极真空计,主要类型为 Bayard-Alpert(ITR 或 IE 414)和提取型真空计 (IE 514)。提取技术能够精确测量 10-12 mbar/torr 的极高真空
 

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