卷绕镀膜的真空解决方案
柔性材料薄膜镀膜
您有没有想过柔性电子面板和太阳能电池板是怎么制造出来的？是通过一种常见的高科技镀膜工艺，它被称为“卷绕镀膜”(R2R)，是大量材料和产品的首选生产方法。
卷绕 (R2R) 镀膜机可以为通常由聚合物或各种金属制成的所有柔性材料镀膜。为这些材料镀膜是改变其特性或保护其免受磨损和/或环境条件的影响。其应用非常广泛，以下是一些真空镀膜的卷绕材料示例：
PVD、PECVD 和热蒸发用真空系统
有三种卷绕镀膜工艺需要真空：物理气相沉积 (PVD)、等离子体增强化学气相淀积 (PECVD) 和热蒸发，所有这些工艺都需要压力范围在 10-1 至 10-3 mbar 的真空条件。
这些镀膜应用的要求非常严苛，对真空泵提出了具体的挑战，包括：
- 快速抽真空，以节省宝贵的处理时间
- 高抽气量
- 根据您的最终产品，实现无油和无尘真空，以达到非常高的产品质量
- 运行可靠
- 更低的运营成本 (TCO)
- 精确的工艺控制
在 Leybold 莱宝，我们在为卷绕镀膜应用提供真空解决方案方面有着悠久的历史，并且积累了该领域的各种专业知识，能够提供符合这些类型应用所需的所有真空泵技术。
