面向平板显示镀膜的真空解决方案

平板显示的薄膜涂层

很有可能此刻您正在平板显示屏上阅读这篇文章，平板显示技术已经深刻改变了电子行业，使真正的移动设备走入了寻常应用。如今，平板屏幕几乎无处不在，车中、家里甚至您的口袋内都会发现它的身影！所有这些平板屏幕都是在真空条件下生产薄膜涂层，无论采用什么显示技术，真空工艺都为显示屏添加最后一层薄膜。

平板显示的发展演变

平板显示器的历史始于 20 世纪 80 年代中期，在笔记本电脑上首次使用了 LCD（液晶显示器）面板。此后不久，LCD 电脑显示器问世，取代了“CRT（阴极射线管）电视”，一种非常笨重的电脑显示器，您可能会在一堆上个世纪的图片和电影中一眼就辨认出这种显示器。从 2003 年起，LCD 显示屏的销量就超过了 CRT，之后一直如此。

这种技术刚问世时，显示器的尺寸非常非常小！1990 年的第一台 LCD 显示器的玻璃尺寸被称为第 1 代（200-300 x 200-400 毫米）。此后，尺寸不断增大，直至 2018 年达到了第 11 代（2340 x 3370 毫米）。随着产量的增加，LCD 电视的尺寸每年都在增加。随着其尺寸的增大，对生产机械供应商在玻璃处理、运输和镀膜方面的技术要求也随之提高。

从 2010 年左右开始，LCD 电视的背光技术从冷阴极荧光灯变为动态 LED 背光，将液晶技术推向了前沿。

大约五年后，一种名为 OLED（有机发光二极管）的新技术已经十分成熟，能够进行大规模生产，使其成为了 LCD 的替代产品。OLED 的优点包括成本更低、重量轻、灵活性好、能效高和画质好（尤其是黑色）。

平板显示的薄膜涂层

即使是最早的 LCD 屏也是在真空条件下生产的，而 Leybold 莱宝产品一直用于制造 LCD 屏。镀膜机制造商信赖我们提供专为满足其工艺要求而开发的全套定制真空解决方案。这通常需要对产品进行调整，因为每个制造商的工艺都是不同的。

我们提供的一些产品及其应对的挑战包括：

前级泵或“前级”真空泵：在真空进样室中，真空泵需要能够在非常短的周期内工作（例如每分钟 2-3 次抽空循环，从 1000 到 1 mbar）。对于快速前级真空抽取或工艺室抽空，我们拥有广泛的产品，包括智能 POWER BOOST 系统。这些完整的解决方案非常适合各种高科技生产工艺，而且所占用的空间比标准解决方案要少。
高真空抽取：在工艺室中，真空系统需要能够实现快速抽真空（真空度低至 5x10^-6 mbar）以及在 10^-2 至 10^-3 mbar 的压力范围内以及氩气、氮气和氧气等气体负载下连续运行。对于需要无油、无尘和无振动工艺室的工艺，我们的 TURBOVAC i、TURBOVAC MAG 或 COOLVAC 泵是理想的选择。
为了简化工艺条件，我们建议使用扩散泵，例如我们的 DIJ和 DIP。
请记住，无论您选择哪种高真空系统，它都必须能够在高负载的惰性气体和工艺气体混合物中持续长时间工作。
维护和备件：确保工艺可靠运行对于显示器生产工厂而言至关重要。任何意外停工都可能代价高昂，并且会对最终产品造成损害。因此，我们建议投资于非常合适的泵技术，选择高质量的零件和耗材，并确保良好的维护。Leybold 莱宝技术人员可以推荐合适的维护计划并就备件和耗材向您提供建议，帮助您保障工艺的正常运行。
工艺控制解决方案：通过制定准确的真空测量解决方案，使您的真空系统性能保持在非常高的水平。我们拥有涵盖所有压力范围的强大工艺仪表组合。
系统集成：确保真空泵能够相互配合。始终选择匹配良好的设备。我们可以提供各种类型的 PLC 和控制解决方案，以满足您的镀膜工艺的精确需求。