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Turbomolecular Pumps

TURBOVAC MAGiNTEGRA

带磁性转子悬浮功能的涡轮分子泵

兼顾精准、耐用和可靠于一身!

TURBOVAC MAGiNTEGRA系列磁悬浮分子泵可靠耐用,适用于分析、研究和严苛的工业镀膜行业。

  • 高抽吸速度和高抽气量可加快抽气速度,从而缩短设备的循环时间。 
  • 5 轴主动磁浮系统,将高可靠性与安全性相结合。
  • 配置集成的变频器和电源:不再需要传统的机架安装式控制器和电缆。

为了安全起见,在断电的情况下,MAGiNTEGRA 驱动系统切换至发电机模式,以通过缓慢减速来保持转子悬浮。当电源恢复时,泵开始自动加速至正常速度。

MAGiNTEGRA 具有 IP 54 防护等级,是恶劣工业应用环境的推荐选择;

磁悬浮分子泵可以在10-1 mbar (0.75 x 10-1 Torr) 至 10-10 mbar (0.75 x 10-10 Torr) 的压力范围内使用。抽速度范围 300 l/s 到 2200 l/s 。

TURBOVAC MAGiNTEGRA 分子泵可以满足如下使用要求:

  • 低噪音和低振动运行, 
  • 无油真空
  • 免维护运行时间长

 

灵活

这些高真空泵安装在任何方向都能实现高性能运行,并且可以轻松集成到您的真空系统中。

MAGiNTEGRA 磁悬浮分子泵,体积小,安装简单,能够产生清洁的高真空和超高真空。

它设计灵活,控制器安装在侧面或底部,采用创新的模块化工业通信解决方案,系统集成更容易。

适用于工业应用,比如 PVD、显示、光学和建筑玻璃镀膜。

可靠

TURBOVAC MAGiNTEGRA 对于气体具有高抽速和高压缩比。

对如下影响不敏感:

  • 工艺颗粒和灰尘
  • 气体冲击。

无油,可确保清洁的高真空和超高真空条件。

它集成了复合型和经典型涡轮转子级以及板载变频器和电源。

振动低,具有高度的操作可靠性。

运行成本低

在大多数应用中免维护,具有监测和自我保护功能。

High Vacuum Pumps

PDF    14.3 MB

Product Overview 2021

PDF    11.6 MB

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