Turbomolecular Pumps

TURBOVAC MAGiNTEGRA

带磁性转子悬浮功能的涡轮分子泵

产品目录

兼顾精准、耐用和可靠于一身！

TURBOVAC MAGiNTEGRA系列磁悬浮分子泵可靠耐用，适用于分析、研究和严苛的工业镀膜行业。

高抽吸速度和高抽气量可加快抽气速度，从而缩短设备的循环时间。
5 轴主动磁浮系统，将高可靠性与安全性相结合。
配置集成的变频器和电源：不再需要传统的机架安装式控制器和电缆。

为了安全起见，在断电的情况下，MAGiNTEGRA 驱动系统切换至发电机模式，以通过缓慢减速来保持转子悬浮。当电源恢复时，泵开始自动加速至正常速度。

MAGiNTEGRA 具有 IP 54 防护等级，是恶劣工业应用环境的推荐选择；

磁悬浮分子泵可以在10^-1 mbar (0.75 x 10^-1 Torr) 至 10^-10mbar (0.75 x 10^-10 Torr) 的压力范围内使用。抽速度范围 300 l/s 到 2200 l/s 。

TURBOVAC MAGiNTEGRA 分子泵可以满足如下使用要求：

低噪音和低振动运行，
无油真空
免维护运行时间长

灵活
可靠
免维护

灵活

灵活

这些高真空泵安装在任何方向都能实现高性能运行，并且可以轻松集成到您的真空系统中。

MAGiNTEGRA 磁悬浮分子泵，体积小，安装简单，能够产生清洁的高真空和超高真空。

它设计灵活，控制器安装在侧面或底部，采用创新的模块化工业通信解决方案，系统集成更容易。

适用于工业应用，比如 PVD、显示、光学和建筑玻璃镀膜。

可靠

可靠

TURBOVAC MAGiNTEGRA 对于气体具有高抽速和高压缩比。

对如下影响不敏感：

工艺颗粒和灰尘
气体冲击。

无油，可确保清洁的高真空和超高真空条件。

它集成了复合型和经典型涡轮转子级以及板载变频器和电源。

振动低，具有高度的操作可靠性。

免维护

运行成本低

在大多数应用中免维护，具有监测和自我保护功能。

灵活

这些高真空泵安装在任何方向都能实现高性能运行，并且可以轻松集成到您的真空系统中。

MAGiNTEGRA 磁悬浮分子泵，体积小，安装简单，能够产生清洁的高真空和超高真空。

它设计灵活，控制器安装在侧面或底部，采用创新的模块化工业通信解决方案，系统集成更容易。

适用于工业应用，比如 PVD、显示、光学和建筑玻璃镀膜。

可靠

TURBOVAC MAGiNTEGRA 对于气体具有高抽速和高压缩比。

对如下影响不敏感：

工艺颗粒和灰尘
气体冲击。

无油，可确保清洁的高真空和超高真空条件。

它集成了复合型和经典型涡轮转子级以及板载变频器和电源。

振动低，具有高度的操作可靠性。

运行成本低

在大多数应用中免维护，具有监测和自我保护功能。

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真空泵

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High Vacuum Pumps

PDF 14.3 MB

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Product Overview 2021

PDF 11.6 MB

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