高真空泵,在低压下具有高抽度

Leybold DIP 系列油扩散泵是高真空泵 (<10-2 mbar)需要于前级真空泵配合使用。DIP 系列油扩散泵采用水冷式,基于油扩散泵原理设计,可在 10-2 至 10-7 mbar 的压力范围内实现高抽度。

Leybold 莱宝 DIP 油扩散泵设计先进,包括四级喷嘴系统和经过长期验证的高校加热器,加热时间短,可以优化您的工艺节拍。

DIP 系列尤其适合在 10-4 mbar 的低压范围内需要高抽度的应用或工艺。Leybold DIP 油扩散泵内没有移动部件,几乎不需要维护,采用易于维护的加热器使 DIP 系列产品整体性能更上一层楼。

客户得益

四级喷嘴系统

冷帽和前级真空挡油板

Leybold 莱宝加热器加热原理

加热棒

温度报警器

能效控制

优势

抽度 3.000 至 50.000 l/s

工作范围 < 10-2 至 10-7 mbar

在低于 10-4 mbar 的压力范围内具有出色的抽速

DIP 系列产品优势

  • 稳定的高真空
  • 前级耐压高
  • 高抽速
  • 安全、经济的设计
  • 符合 CE 标准的电子器件
  • 易于操作
  • 易于维护,可快速轻松地更换加热棒
  • 提供多种附件
  • 灵活的电气布线,适合全球使用
  • 创新的能效控制 
Oil Diffusion DIP 20000 Family

DIP 优势一览

DIP 系列扩散泵性能卓越,可以为您的工艺和应用提供可靠支持。

 

四级喷嘴系统

四级喷嘴系统

DIP 泵配有四级喷嘴系统和顶部标配冷帽,可充分减少返油。

  • 减少返油
  • 优化的喷嘴设计可实现出色的泵性能
冷帽

冷帽和前级真空挡油板

为了防止返油,DIP 系列扩散泵的进气口标配了水冷冷帽。

水冷前级真空挡油板,可以有效减少油损失。

  • 返油少,工艺更可靠
  • 油损失少,维护周期延长
  • 泵油使用寿命长
Leybold 莱宝加热器

Leybold 莱宝加热器加热原理

DIP 油扩散泵的加热器直接油泵油接触,加热速度快,热损失少,降低工艺中的功率需求。

  • 快速加热
  • 泵油使用寿命长
  • 易于维护
加热棒

加热棒

必要时可轻松更换加热棒。

  • 快速更换加热棒
  • 更好地集成到您的工艺中
温度报警器

温度报警器

为保护加热元件,温度报警器安装在从油液中伸出的加热元件上;一旦超温,立即关闭泵的加热器。过热保护开关必须集成到系统控制装置中,以便安全地切断电源。

  • 保证您的应用安全
  • 维护周期长
  • 延长泵的使用寿命
能效控制

能效控制单元 (EEC)

节能而不损失性能

油扩散泵需要一定的油温才能运行,通常扩散泵会持续使用全部装机加热功率。Leybold 莱宝创新的扩散泵能效控制装置在泵达到工作温度后降低功率实现节能的目的。如果根据工艺要求引入待机模式,可以进一步节省了成本。降低了功率也就降低了冷却系统的冷却要求,又产生额外的节约。

  • 延长了油和加热棒的使用寿命
  • 操作简单
  • 快速回收投资
  • 简单、直观的参数监控
  • USB 接口和以太网

四级喷嘴系统

DIP 泵配有四级喷嘴系统和顶部标配冷帽,可充分减少返油。

  • 减少返油
  • 优化的喷嘴设计可实现出色的泵性能

冷帽和前级真空挡油板

为了防止返油,DIP 系列扩散泵的进气口标配了水冷冷帽。

水冷前级真空挡油板,可以有效减少油损失。

  • 返油少,工艺更可靠
  • 油损失少,维护周期延长
  • 泵油使用寿命长

Leybold 莱宝加热器加热原理

DIP 油扩散泵的加热器直接油泵油接触,加热速度快,热损失少,降低工艺中的功率需求。

  • 快速加热
  • 泵油使用寿命长
  • 易于维护

加热棒

必要时可轻松更换加热棒。

  • 快速更换加热棒
  • 更好地集成到您的工艺中

温度报警器

为保护加热元件,温度报警器安装在从油液中伸出的加热元件上;一旦超温,立即关闭泵的加热器。过热保护开关必须集成到系统控制装置中,以便安全地切断电源。

  • 保证您的应用安全
  • 维护周期长
  • 延长泵的使用寿命

能效控制单元 (EEC)

节能而不损失性能

油扩散泵需要一定的油温才能运行,通常扩散泵会持续使用全部装机加热功率。Leybold 莱宝创新的扩散泵能效控制装置在泵达到工作温度后降低功率实现节能的目的。如果根据工艺要求引入待机模式,可以进一步节省了成本。降低了功率也就降低了冷却系统的冷却要求,又产生额外的节约。

  • 延长了油和加热棒的使用寿命
  • 操作简单
  • 快速回收投资
  • 简单、直观的参数监控
  • USB 接口和以太网
技术信息
    DIP 3.000  DIP 8.000  DIP 12.000  DIP 20.000  DIP 30.000  DIP 50.000
高真空 DN 250 ISO-K 400 ISO-K 500 ISO-K 630 ISO-F 800 ISO-F 1000 ISO-F
前级真空接口 DN 63 ISO-K 63 ISO-K 100 ISO-K 100 ISO-K 160 ISO-K 160 ISO-K
以下气体的抽速                                          

氢气 < 1 x 10-4mbar

l/s 3000 8000 12000 20000 30000 50000

空气 < 1 x 10-4 mbar

l/s 2200 6500 8900 16000 24500 41000
工作范围 mbar (Torr) mbar (Torr)
< 10-2 至 10-7(0.75 x 10-2 至 0.75 x 10-7 < 10-2 至 10-7(0.75 x 10-2 至 0.75 x 10-7 < 10-2 至 10-7(0.75 x 10-2 至 0.75 x 10-7 < 10-2 至 10-7(0.75 x 10-2 至 0.75 x 10-7 < 10-2 至 10-7(0.75 x 10-2 至 0.75 x 10-7 < 10-2 至 10-7(0.75 x 10-2 至 0.75 x 10-7
极限总压力 mbar
< 5.0 x 10-7 (3.75 x 10-7) < 5.0 x 10-7 (3.75 x 10-7) < 5.0 x 10-7 (3.75 x 10-7) < 5.0 x 10-7 (3.75 x 10-7) < 5.0 x 10-7 (3.75 x 10-7) < 5.0 x 10-7 (3.75 x 10-7)
电源连接        
欧洲标准,50/60 Hz V 230 ~ 1 Ph 400 ~ 3 Ph Y 400 ~ 3 Ph Y 400 ~ 3 Ph Y 400 ~ 3 Ph Y 400 ~ 3 Ph Y
美洲标准,50/60 Hz V 230 ~ 1 Ph 460 ~ 3 Ph Y 460 ~ 3 Ph Y 460 ~ 3 Ph Y 460 ~ 3 Ph Y 460 ~ 3 Ph Y
加热功率 kW 2.4 4.8 7.2 12 18 24
重量,近似值 kg (lbs) 29 (64) 70 (154) 102 (225) 172 (379) 296 (653) 560 (1235)

在 Leybold 莱宝的产品目录中查找更多技术数据。

文档
Oil diffusion/Oil Vapor Jet Pumps

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行业应用

DIP 系列油扩散泵非常适合如下应用:

  • 真空镀膜
  • 冶金
  • 真空炉
  • 真空干燥
  • 空间环境模拟
  • 科研
  • 机械工程
产品目录
    DIP 3.000  DIP 8.000  DIP 12.000  DIP 20.000  DIP 30.000  DIP 50.000
高真空 DN 250 ISO-K 400 ISO-K 500 ISO-K 630 ISO-F 800 ISO-F 1000 ISO-F
前级真空接口 DN 63 ISO-K 63 ISO-K 100 ISO-K 100 ISO-K 160 ISO-K 160 ISO-K
以下气体的抽速                                          

氢气 < 1 x 10-4mbar

l/s 3000 8000 12000 20000 30000 50000

空气 < 1 x 10-4 mbar

l/s 2200 6500 8900 16000 24500 41000
工作范围 mbar (Torr) mbar (Torr)
< 10-2 至 10-7(0.75 x 10-2 至 0.75 x 10-7 < 10-2 至 10-7(0.75 x 10-2 至 0.75 x 10-7 < 10-2 至 10-7(0.75 x 10-2 至 0.75 x 10-7 < 10-2 至 10-7(0.75 x 10-2 至 0.75 x 10-7 < 10-2 至 10-7(0.75 x 10-2 至 0.75 x 10-7 < 10-2 至 10-7(0.75 x 10-2 至 0.75 x 10-7
极限总压力 mbar
< 5.0 x 10-7 (3.75 x 10-7) < 5.0 x 10-7 (3.75 x 10-7) < 5.0 x 10-7 (3.75 x 10-7) < 5.0 x 10-7 (3.75 x 10-7) < 5.0 x 10-7 (3.75 x 10-7) < 5.0 x 10-7 (3.75 x 10-7)
电源连接        
欧洲标准,50/60 Hz V 230 ~ 1 Ph 400 ~ 3 Ph Y 400 ~ 3 Ph Y 400 ~ 3 Ph Y 400 ~ 3 Ph Y 400 ~ 3 Ph Y
美洲标准,50/60 Hz V 230 ~ 1 Ph 460 ~ 3 Ph Y 460 ~ 3 Ph Y 460 ~ 3 Ph Y 460 ~ 3 Ph Y 460 ~ 3 Ph Y
加热功率 kW 2.4 4.8 7.2 12 18 24
重量,近似值 kg (lbs) 29 (64) 70 (154) 102 (225) 172 (379) 296 (653) 560 (1235)

在 Leybold 莱宝的产品目录中查找更多技术数据。

Oil diffusion/Oil Vapor Jet Pumps

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DIP 系列油扩散泵非常适合如下应用:

  • 真空镀膜
  • 冶金
  • 真空炉
  • 真空干燥
  • 空间环境模拟
  • 科研
  • 机械工程
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