DIJ

油扩散泵

同时具有高抽气量和高抽速的高真空泵

Leybold DIJ 系列油扩散泵是高真空泵 (<10^-2 mbar)，采用先进泵体的设计，配有创新的加热器系统和五级喷嘴系统，可以实现快速抽空并且降低能耗减少碳排放。

DIJ 系列可在 10^-2 mbar 的范围内提供更高的抽气量和稳定的真空度。在 5 x 10^-1 至 10^-7 的工作范围内，抽度范围 3,000 l/s 至 33,000 l/s。

DIJ 具有先进的新加热概念、强大的五级喷嘴系统、多种法兰版本和包括能效控制器 (EEC) 在内的多种电气连接选择，标配了前级挡油板和高真空冷帽。DIJ 五级喷嘴设计提供卓越的性能。四个扩散泵级用于提供高抽度，一个喷射器级用于 10^-2 mbar 的压力下实现高抽气量，配置 EEC 节能单元的版本具有更高的能效，从而进一步实现节能并降低碳排放。

Leybold DIJ 油扩散泵几乎无需维护，没有旋转部件造成的磨损，并且易于操作。DIJ 系列采用创新且高能效的设计，令人耳目一新。

客户得益

五级喷嘴系统

冷帽和前级真空挡油板

创新的加热概念

多种法兰形式 (ANSI/ISO)

满足客户需求的多种电气连接选择

能效控制

优势

抽速 3.000 至 33.000 l/s

工作范围 < 10^-1 至 10^-7 mbar

在 10^-3 mbar 的压力范围内具有出色的抽度

DIJ 系列特点

稳定的高真空
高抽速
高抽气量
安全、经济的设计
符合 CE 标准的电子器件
易于操作
易于维护，可快速轻松地更换加热棒
提供多种附件
灵活的电气布线，适合全球使用
创新的能效控制 (EEC)

DIJ 优势一览

DIJ 系列产品性能优越，帮助您的应用中实现出色的集成。

创新的加热概念
五级喷嘴系统
多种法兰形式 (ANSI/ISO)
冷帽
能效控制单元 (EEC)

创新的加热概念

独特、创新的加热概念，采用具有大面积热交换表面加热棒，优化能力传输效率，温度监测可保护系统免受过热。保温的加热器理念减少能量损失。

加热器和油受到的应力小，使用寿命长
快速加热
法兰加热棒，易于更换

五级喷嘴系统

DIJ 泵配备了新的五级喷嘴系统。四个喷嘴确保在低压下实现高抽速，喷射器级优化的抽气量实现高压段真空稳定性。

高抽气量和抽度
集成冷帽，减少返油

多种法兰形式 (ANSI/ISO)

可选择法兰类型可选，易于连接

ANSI/英制法兰（O 型密封圈）
ISO-F 或 ISO-K 法兰（对中 O 型密封圈）

冷帽

冷帽和前级真空挡油板

为了防止返油和减少油损失，DIJ 系列泵配有经过工艺验证的冷帽和经过优化的前级真空挡油板。

创新的前级真空挡油板可减少油损失
更好的工艺参数
减少返油

能效控制单元 (EEC)

能效控制

节能高达 30%，不会损失泵性能

如果没有控制器，加热器会持续使用全部装机加热功率来加热泵油，造成能量损耗。Leybold 创新的扩散泵能效控制器在泵油达到工作温度后停止加热可降低高达 30% 的功耗。如果配合使用低温待机模式，能进一步节省运行成本。

更高的能效
延长泵油和加热棒的正常运行时间
操作简单
简单、直观的参数监控
USB 接口和以太网接口

创新的加热概念

独特、创新的加热概念，采用具有大面积热交换表面加热棒，优化能力传输效率，温度监测可保护系统免受过热。保温的加热器理念减少能量损失。

加热器和油受到的应力小，使用寿命长
快速加热
法兰加热棒，易于更换

五级喷嘴系统

DIJ 泵配备了新的五级喷嘴系统。四个喷嘴确保在低压下实现高抽速，喷射器级优化的抽气量实现高压段真空稳定性。

高抽气量和抽度
集成冷帽，减少返油

多种法兰形式 (ANSI/ISO)

可选择法兰类型可选，易于连接

ANSI/英制法兰（O 型密封圈）
ISO-F 或 ISO-K 法兰（对中 O 型密封圈）

冷帽和前级真空挡油板

为了防止返油和减少油损失，DIJ 系列泵配有经过工艺验证的冷帽和经过优化的前级真空挡油板。

创新的前级真空挡油板可减少油损失
更好的工艺参数
减少返油

能效控制

节能高达 30%，不会损失泵性能

更高的能效
延长泵油和加热棒的正常运行时间
操作简单
简单、直观的参数监控
USB 接口和以太网接口

技术信息
文档
行业应用
产品目录

技术信息

		DIJ 10	DIJ 320	DIJ 16	DIJ 500	DIJ 20	DIJ 630	DIJ 32	DIJ 800	DIJ 35	DIJ 1000
高真空		10" ANSI	320 ISO-K	16" ANSI	500 ISO-K	20" ANSI	630 ISO-K	32" ANSI	800 ISO-F	35" ANSI	1000 ISO-F
前级真空接口		2" ANSI	63 ISO-K	3" ANSI	100 ISO-K	4" ANSI	160 ISO-K	6" ANSI	200 ISO-K	6" ANSI	200 ISO-K
以下气体的抽速
空气 < 8 x 10-4mbar	l/s	3000		6800		10800		21000		33000
氩气 < 1 x 10-4 mbar	l/s	2750		6350		9500		18000		26000
工作范围	mbar	< 10-1 至 10-7		< 10-1 至 10-7		< 10-1 至 10-7		< 10-1 至 10-6		< 10-1 至 10-6
极限总压力	mbar	< 5 · 10-7		< 5 · 10-7		< 5 · 10-7		< 1 · 10-6		< 1 · 10-6
电源电压		3 ~ 400V /N/PE		3 ~ 400V /N/PE		3 ~ 400V /N/PE		3 ~ 400V /N/PE		3 ~ 400V /N/PE
取决于型号，50/60Hz		3 ~ 460V /N/PE		3 ~ 460V /N/PE		3 ~ 460V /N/PE		3 ~ 460V /N/PE		3 ~ 460V /N/PE
加热功率	kW	3.6		7.2		10.8		21.5		21.5
重量，近似值	kg	95		152		230		570		610

文档

Oil diffusion/Oil Vapor Jet Pumps

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行业应用

DIJ 系列油扩散泵非常适合在工业应用：

真空镀膜
冶金
真空炉
真空干燥
空间模拟
科研
机械工程

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		DIJ 10	DIJ 320	DIJ 16	DIJ 500	DIJ 20	DIJ 630	DIJ 32	DIJ 800	DIJ 35	DIJ 1000
高真空		10" ANSI	320 ISO-K	16" ANSI	500 ISO-K	20" ANSI	630 ISO-K	32" ANSI	800 ISO-F	35" ANSI	1000 ISO-F
前级真空接口		2" ANSI	63 ISO-K	3" ANSI	100 ISO-K	4" ANSI	160 ISO-K	6" ANSI	200 ISO-K	6" ANSI	200 ISO-K
以下气体的抽速
空气 < 8 x 10-4mbar	l/s	3000		6800		10800		21000		33000
氩气 < 1 x 10-4 mbar	l/s	2750		6350		9500		18000		26000
工作范围	mbar	< 10-1 至 10-7		< 10-1 至 10-7		< 10-1 至 10-7		< 10-1 至 10-6		< 10-1 至 10-6
极限总压力	mbar	< 5 · 10-7		< 5 · 10-7		< 5 · 10-7		< 1 · 10-6		< 1 · 10-6
电源电压		3 ~ 400V /N/PE		3 ~ 400V /N/PE		3 ~ 400V /N/PE		3 ~ 400V /N/PE		3 ~ 400V /N/PE
取决于型号，50/60Hz		3 ~ 460V /N/PE		3 ~ 460V /N/PE		3 ~ 460V /N/PE		3 ~ 460V /N/PE		3 ~ 460V /N/PE
加热功率	kW	3.6		7.2		10.8		21.5		21.5
重量，近似值	kg	95		152		230		570		610

Oil diffusion/Oil Vapor Jet Pumps

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