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残余气体分析仪

LEYSPEC

LEYSPEC 残余气体分析仪 (RGA) 产品系列可实现简单直观的操作。

按下按钮,即可显示关键气体的分压,如果您的工艺涉及额外的气体,还可以将其分配到备用显示通道进行显示。 

LEYSPEC 可达到较高的加热除气温度,因此非常适合在要求苛刻的高真空和超高真空应用中使用。 

工作原理

测量元件是一个热阴极电离真空计。电子从热丝中发射出来,并通过电偏压装置加速射向源位置。快速移动的电子与气体分子发生碰撞,撞出电子,从而对气体进行电离。正气体离子向带负电的离子收集器提供电流。离子电流与压力成比例。离子越多,离子电流越高。四极阵列由四个不锈钢电极组成。直流和高频电压施加到所有电极后,会形成一个复杂的磁场。通过改变电压,可以控制该磁场。 

产生的振动只允许特定质量的离子“飞过”并到达检测部分: 

  • 具有适当质荷比 (m/e) 的离子将以稳定的三维轨迹振荡通过电极。 
  • 质荷比不正确的离子将不受控制地发生振荡,并与电极发生碰撞

离子到达离子收集器并产生输出电流,该电流用于度量通过滤波器的离子相对丰度。离子电流或分压与质荷比的关系随后显示在装置上或软件中。

根据所述工作原理,LEYSPEC RGA 通过查找和显示气体成分来验证气体纯度。这使 LEYSPEC 能够识别气体污染物,并执行进一步的工艺和设备控制,从而全面优化工艺性能和产量。

一体化仪器,操作简单直观

LEYSPEC 残余气体分析仪具有高灵敏度,可检测痕量的污染物或工艺气体。该产品系列具有针对 100、200 和 300 amu 的解决方案。在恶劣环境中操作时,可实现高达 300 °C 的加热除气温度。

LEYSPEC 自带软件并集成了控制和显示装置,可通过它们直观地实现操作。无需连接到计算机即可进行简单的残余气体分析。只需按一下按钮即可显示关键气体,还有一个备用显示界面,用于显示额外的气体。

它们也适用于高真空系统中要求严格的测试程序和残余气体分析。

凭借 LEYSPEC 的预安装功能,如氦气泄漏测试、可选气体的警告和错误级别,以及启动后脱气功能或通气功能,此残余气体分析仪对于任何系统来说都是一个有益补充。

LEYSPEC 推车

移动式残余气体分析仪系统

LEYSPEC 推车采用完全集成的差动抽送系统,可实现充分的灵活性和轻松的操控性。

它是一款完全独立的抽送系统,可轻松应对各种测量任务,在各种压力下均可快速准备好进行操作。 

我们的解决方案:

  • SCROLLVAC 7 plusTURBOVAC 350 i 的独立抽送系统 
  • 集成工艺控制,实现快速、轻松的操作
  • 为 LEYSPEC RGA 配备简单直观的软件
  • 完全集成在独立移动的推车中
  • UHV 针阀可在高至大气压的不同压力下灵活操作
High Vacuum Pump System

特点

结构紧凑,使用简单

结构紧凑,使用简单

所有产品均配有可实现轻松快速操作的集成显示屏,以及用于复杂测试程序和残余气体分析的 LEYSPEC 软件。LEYSPEC 产品系列尺寸紧凑,可安装在任何方向,非常适合不同的嵌入式应用环境。

LEYSPEC 残余气体分析仪采用直观的界面,因此非常易于操作。按下按钮,即可显示关键气体的分压,如果您的工艺涉及额外的气体,还可以将其分配到备用显示通道进行显示。

直观的软件

直观的软件

该产品通过智能直观的 LEYSPEC 软件变得更加完善。用户友好的界面便于执行从简单操作到复杂分析的各种用途。创建操作程式非常简单:既快速又方便。

操作过程中将显示总压力,并且可根据分析目的选择不同的视图。可在扫描模式、趋势模式或模拟模式之间进行选择。

高灵敏度

高灵敏度

LEYSPEC 产品系列具有非常高的灵敏度,可进行精确的残余气体分析,因此即便是痕量的污染物或工艺气体,它们也能检测到。

LEYSPEC 通过查找和显示气体成分来验证气体纯度。因此,可以识别气体污染物,并执行进一步的工艺和设备控制,从而整体优化工艺性能和产量。

灵活

灵活

新的 LEYSPEC 系列是所有质谱分析应用的理想解决方案。该产品系列专注于残余气体分析,根据工艺要求提供针对 100、200 或 300 amu 的解决方案。

高级功能

高级功能

预装的软件功能允许使用许多附加功能和测试程序,例如氦气泄漏测试或可选气体的警告和错误级别设置。可编程的脱气功能用于在启动后或暴露于大气中后进行简单的工艺脱气。背景抑制功能允许重点关注重要峰值。

高加热除气温度

高加热除气温度

LEYSPEC Ultra 具有较高的加热除气温度,可达 300 °C,因此非常适合精密的高真空和超高真空测量应用。LEYSPEC Ultra 系列提供非常高的加热除气温度,即使在恶劣环境下也可以执行可靠的气体分析。

LEYSPEC RGA 系列拥有非常高的灵敏度,并结合了直观的软件,能够执行所有基本和高级测试程序

结构紧凑,使用简单

所有产品均配有可实现轻松快速操作的集成显示屏,以及用于复杂测试程序和残余气体分析的 LEYSPEC 软件。LEYSPEC 产品系列尺寸紧凑,可安装在任何方向,非常适合不同的嵌入式应用环境。

LEYSPEC 残余气体分析仪采用直观的界面,因此非常易于操作。按下按钮,即可显示关键气体的分压,如果您的工艺涉及额外的气体,还可以将其分配到备用显示通道进行显示。

直观的软件

该产品通过智能直观的 LEYSPEC 软件变得更加完善。用户友好的界面便于执行从简单操作到复杂分析的各种用途。创建操作程式非常简单:既快速又方便。

操作过程中将显示总压力,并且可根据分析目的选择不同的视图。可在扫描模式、趋势模式或模拟模式之间进行选择。

高灵敏度

LEYSPEC 产品系列具有非常高的灵敏度,可进行精确的残余气体分析,因此即便是痕量的污染物或工艺气体,它们也能检测到。

LEYSPEC 通过查找和显示气体成分来验证气体纯度。因此,可以识别气体污染物,并执行进一步的工艺和设备控制,从而整体优化工艺性能和产量。

灵活

新的 LEYSPEC 系列是所有质谱分析应用的理想解决方案。该产品系列专注于残余气体分析,根据工艺要求提供针对 100、200 或 300 amu 的解决方案。

高级功能

预装的软件功能允许使用许多附加功能和测试程序,例如氦气泄漏测试或可选气体的警告和错误级别设置。可编程的脱气功能用于在启动后或暴露于大气中后进行简单的工艺脱气。背景抑制功能允许重点关注重要峰值。

高加热除气温度

LEYSPEC Ultra 具有较高的加热除气温度,可达 300 °C,因此非常适合精密的高真空和超高真空测量应用。LEYSPEC Ultra 系列提供非常高的加热除气温度,即使在恶劣环境下也可以执行可靠的气体分析。

LEYSPEC RGA 系列拥有非常高的灵敏度,并结合了直观的软件,能够执行所有基本和高级测试程序

文档
LEYSPEC Carts

PDF    317.9 kB

LEYSPEC - Residual Gas Analyser

PDF    570.8 kB

LEYSPEC Carts

PDF    317.9 kB

LEYSPEC - Residual Gas Analyser

PDF    570.8 kB

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